共振隧穿力电耦合微结构输出特性测试方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·本论文的主要研究工作 | 第15-17页 |
| 第二章 共振隧穿微结构力电耦合测试的理论基础 | 第17-30页 |
| ·共振隧穿效应的基本原理 | 第17-22页 |
| ·共振隧穿量子阱 | 第17-19页 |
| ·共振隧穿原理 | 第19-20页 |
| ·共振隧穿微结构中的电流成份 | 第20-22页 |
| ·共振隧穿微结构力电耦合效应的原理 | 第22-28页 |
| ·力电耦合效应 | 第22-25页 |
| ·共振隧穿压阻效应与硅压阻效应相比的优势 | 第25-28页 |
| ·拉曼应力标定理论 | 第28-30页 |
| 第三章 共振隧穿微结构输出特性的测试方法分析 | 第30-36页 |
| ·共振隧穿微结构的电学等效模型 | 第30页 |
| ·共振隧穿微结构的“平台”及本征双稳态特性 | 第30-31页 |
| ·共振隧穿微结构的自激振荡特性 | 第31-32页 |
| ·共振隧穿微结构的电荷积累效应 | 第32-33页 |
| ·可行的测试方法分析 | 第33-36页 |
| ·测试电路方案分析 | 第33-34页 |
| ·实验测试方案分析 | 第34-36页 |
| 第四章 共振隧穿微结构输出特性的测试电路设计 | 第36-47页 |
| ·振荡频率测试电路的设计 | 第36-39页 |
| ·电桥测试电路的设计 | 第39-42页 |
| ·串联电阻对共振隧穿微结构负阻区的影响 | 第39-40页 |
| ·电桥电路设计 | 第40-41页 |
| ·电桥电路灵敏度的计算 | 第41-42页 |
| ·负阻区峰、谷值检测电路的设计 | 第42-47页 |
| ·扫描电压模块的设计 | 第43-44页 |
| ·电流放大模块 | 第44-45页 |
| ·放大及整形电路 | 第45-47页 |
| 第五章 实验测试及结果分析 | 第47-68页 |
| ·实验所用样品的设计与制作 | 第47-52页 |
| ·共振隧穿微结构的设计与制作 | 第47-49页 |
| ·共振隧穿微加速度计的设计与制作 | 第49-52页 |
| ·共振隧穿微结构的实验测试及结果分析 | 第52-57页 |
| ·探针加压实验及结果分析 | 第52-56页 |
| ·温度特性实验及结果分析 | 第56-57页 |
| ·共振隧穿微加速度计的实验测试及结果分析 | 第57-66页 |
| ·振动台实验 | 第57-64页 |
| ·用电桥测试电路的实验结果及分析 | 第58-61页 |
| ·用负阻区峰、谷值检测电路的实验结果及分析 | 第61-64页 |
| ·马歇特冲击实验 | 第64-66页 |
| ·冲击响应实验 | 第64-65页 |
| ·冲击响应谱分析 | 第65-66页 |
| ·实验总结 | 第66-68页 |
| 第六章 总结 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 附录 | 第77-79页 |
