| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·声学的开创与声表面波的发现 | 第11页 |
| ·叉指换能器与现代声学技术 | 第11-12页 |
| ·声表面波传感技术的特点 | 第12-13页 |
| ·声表面波加速度传感器 | 第13页 |
| ·声表面波角速度传感器 | 第13-14页 |
| ·本论文的主要任务 | 第14-15页 |
| 第二章 声表面波基本理论 | 第15-30页 |
| ·固体的弹性形变 | 第15-17页 |
| ·无穷大介质弹性波方程 | 第17-19页 |
| ·介质中的弹性表面波 | 第19-22页 |
| ·各向异性压电介质中的声表面波 | 第22-27页 |
| ·压电基片上的金属栅 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 声表面波滤波器 | 第30-43页 |
| ·声表面波叉指换能器概述 | 第30-31页 |
| ·声表面波叉指换能器模型 | 第31-38页 |
| ·叉指换能器加权方式 | 第38-39页 |
| ·声表面波带通滤波器 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 声表面波谐振器和振荡器 | 第43-54页 |
| ·周期性栅阵中的波反射 | 第43-46页 |
| ·谐振腔型声表面波谐振器 | 第46-49页 |
| ·声表面器件制造技术 | 第49-50页 |
| ·声表面波振荡器电路 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 石英晶体悬臂梁的物理和力学性能 | 第54-72页 |
| ·晶体的物理特性 | 第54-57页 |
| ·石英的主要物理特性 | 第57-59页 |
| ·石英晶体悬臂梁的机电特性 | 第59-62页 |
| ·石英晶体梁压电耦合的负面影响及负面效应的消除 | 第62-64页 |
| ·石英晶体悬臂梁的能量分析方法 | 第64-69页 |
| ·石英梁微系统的MEMS制造技术 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第六章 悬臂梁式声表面波加速度传感器 | 第72-102页 |
| ·研究现状和任务 | 第72页 |
| ·加速度传感器概述 | 第72-74页 |
| ·悬臂梁的应力分析和传感原理 | 第74-79页 |
| ·加速度传感器悬臂梁的几何尺寸设计 | 第79-80页 |
| ·悬臂梁式SAW加速度计的信号特征及测量方案 | 第80-85页 |
| ·介质阻尼对悬臂梁微机械系统的影响 | 第85-86页 |
| ·悬臂梁式SAW加速度计系统设计 | 第86-94页 |
| ·SAW加速度计的测量准确度 | 第94-96页 |
| ·加速度计的计量标定 | 第96-97页 |
| ·用浮动零点法消除温度对SAW加速度计测量准确度的影响 | 第97-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 第七章 悬臂梁式SAW加速度传感器信号处理技术 | 第102-108页 |
| ·悬臂梁式SAW加速度传感器的信号系统 | 第102-103页 |
| ·混(变)频器及其性能指标 | 第103-105页 |
| ·SAW差频信号的获取 | 第105-107页 |
| ·本章小结 | 第107-108页 |
| 第八章 声表面波陀螺效应理论研究 | 第108-130页 |
| ·哥氏(Coriolis)定理与哥氏加速度 | 第108-112页 |
| ·非压电介质SAW陀螺效应理论分析 | 第112-121页 |
| ·压电介质SAW陀螺效应理论分析1 | 第121-128页 |
| ·本章小结 | 第128-130页 |
| 第九章 SAW陀螺效应的声光探测、检测技术 | 第130-147页 |
| ·声光探测技术的基本理论1 | 第130-135页 |
| ·SAW陀螺效应声光探测技术研究 | 第135-140页 |
| ·SAW陀螺效应CCD检测技术研究 | 第140-146页 |
| ·本章小结 | 第146-147页 |
| 第十章 总结 | 第147-150页 |
| ·完成的主要工作及其创新点 | 第147-148页 |
| ·今后工作展望 | 第148页 |
| ·结束语 | 第148-150页 |
| 参考文献 | 第150-160页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及教学科研情况 | 第160-162页 |
| 致谢 | 第162-163页 |
| 附录 A. SAW带通滤波器的数字设计与软件实现 | 第163-171页 |
| A.1 FIR设计方法简介 | 第163-164页 |
| A.2 SAW滤波器设计的Chebyshev-Remez算法 | 第164-166页 |
| A.3 利用Matlab进行FIR滤波器设计 | 第166-167页 |
| A.4 SAW滤波器Matlab仿真设计 | 第167-171页 |
| 附录 B.悬臂梁的分析方法 | 第171-175页 |
| B.1 卡斯提里阿诺定理及结构的势能分析方法 | 第171-172页 |
| B.2 非棱柱悬臂梁和非线性悬臂梁的瑞利-里兹分析方法 | 第172-175页 |
| 附录 C.混频与滤波技术 | 第175-185页 |
| C.1 混(变)频原理简介 | 第175-180页 |
| C.2 混频信号的滤波技术 | 第180-185页 |
