电容式塑料薄膜厚度扫描检测系统的研究
| 中文摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-16页 |
| ·塑料薄膜测厚技术背景 | 第7页 |
| ·非在线测厚技术 | 第7-9页 |
| ·在线测厚设备的现状 | 第9-11页 |
| ·射线在线测厚技术 | 第9-11页 |
| ·近红外测厚技术 | 第11页 |
| ·课题研究的方向和总体方案 | 第11-15页 |
| ·采用电容原理测厚的优缺点 | 第12-13页 |
| ·国内外电容原理测厚的研究现状 | 第13页 |
| ·塑膜厚度扫描测量系统的总体设计 | 第13-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 电容测厚的工作原理及关键技术 | 第16-29页 |
| ·电容传感器的结构及测厚原理 | 第16-18页 |
| ·电容传感器的结构及特点 | 第16-17页 |
| ·电容传感器测厚的原理 | 第17-18页 |
| ·电容测厚电路原理及关键技术 | 第18-26页 |
| ·电容信号检测电路的方案选择 | 第18-20页 |
| ·调频检测电路 | 第18页 |
| ·电桥法检测电路 | 第18-19页 |
| ·运算放大式电容检测电路 | 第19-20页 |
| ·电容测厚电路的整体设计 | 第20-21页 |
| ·电容检测电路关键技术设计 | 第21-26页 |
| ·改进的驱动电缆技术 | 第21-22页 |
| ·精密稳幅振荡电路设计 | 第22-25页 |
| ·关键节点波形 | 第25-26页 |
| ·电容测距静态实验 | 第26-28页 |
| ·不同极板间距段下的实验结果 | 第27-28页 |
| ·提高灵敏度、改善线性的实验 | 第28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 动态扫描测量系统中的误差分析 | 第29-40页 |
| ·机械扫描系统引入系统误差的分析 | 第29-36页 |
| ·传感器探头运行轨迹相对底板的平行度误差 | 第29-31页 |
| ·直线运动平台运行平行度 | 第30页 |
| ·下极板上表面的平面度 | 第30-31页 |
| ·直线运动平台与下极板之间安装的平行度误差 | 第31页 |
| ·直线运动平台和下极板的挠度 | 第31-36页 |
| ·直线平台的挠度分析 | 第32-35页 |
| ·下极板的挠度计算 | 第35-36页 |
| ·各因素综合考虑的结果 | 第36页 |
| ·系统误差的分析的理论计算 | 第36-39页 |
| ·相对倾斜β带来的误差 | 第36-38页 |
| ·极板中心距变化引起的误差 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 涡流补偿模型的建立与优化 | 第40-48页 |
| ·预扫描补偿模型的局限 | 第40-41页 |
| ·涡流位移传感器的原理与应用 | 第41-44页 |
| ·涡流传感器的非接触位移测量原理 | 第42-43页 |
| ·涡流位移测量实验结果 | 第43-44页 |
| ·单涡流传感器补偿方案 | 第44-45页 |
| ·双涡流传感器补偿方案 | 第45-46页 |
| ·双涡流传感器补偿的参数优化 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 温度、湿度对系统精度影响的机理和实验分析 | 第48-53页 |
| ·测量系统的温度、湿度特性分析 | 第48页 |
| ·温度、湿度的测量 | 第48-52页 |
| ·温度和湿度测量的方案选择 | 第49页 |
| ·用SHT15 进行温湿度测量的软硬件设计 | 第49-52页 |
| ·系统温度漂移特性测量及补偿 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 动态扫描测厚实验和数据处理 | 第53-63页 |
| ·实验装置的简化设计 | 第53-54页 |
| ·塑料薄膜厚度动态检测的实验 | 第54-60页 |
| ·塑料薄膜测厚的灵敏度实验 | 第55-56页 |
| ·塑料薄膜静态测厚实验 | 第56页 |
| ·X 方向扫描测量实验 | 第56-60页 |
| ·极板间距补偿实验 | 第57-58页 |
| ·标称厚度为145um 的薄膜的测厚实验 | 第58-59页 |
| ·标称厚度为25um 的薄膜的测厚实验 | 第59页 |
| ·动态扫描测厚的数据处理 | 第59-60页 |
| ·自动化在线测厚设备的软件功能设计 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第七章 全文总结及展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-76页 |
