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多相合金薄膜的扫描开尔文显微镜研究

摘要第1-8页
Abstract第8-9页
插图索引第9-10页
附表索引第10-11页
第1章 绪论第11-23页
   ·材料结构、组分与性能的相互关系第11-12页
   ·扫描力显微术及研究进展第12-21页
     ·常用的显微分析技术第12-14页
     ·扫描力显微术第14-20页
     ·扫描开尔文力显微术第20-21页
   ·本工作的目的和意义第21-23页
第2章 Solver P47以及双室多功能磁控溅射仪第23-28页
   ·Solver P47第23-27页
     ·Solver P47的结构第23-24页
     ·Solver P47的测量和操作第24-27页
   ·双室多功能磁控溅射仪第27-28页
第3章 扫描开尔文力显微术第28-46页
   ·前言第28页
   ·扫描开尔文探针技术第28-31页
     ·扫描开尔文探针技术原理第28-30页
     ·电子功函数和接触电势差第30-31页
   ·参数设置和开尔文力显微镜成像第31-46页
     ·样品的制备和处理第31页
     ·参数设置及影响第31-46页
第4章 多相合金的SKM研究第46-67页
   ·铜铅合金的结构和扫描电镜分析第46-49页
     ·铜铅合金的结构分析第46-48页
     ·铜铅合金的扫描电子显微镜分析第48-49页
   ·不同组分的铜铅合金第49-57页
     ·样品制备和处理第49-50页
     ·SKM分析第50-57页
   ·不同沉积温度下的铜铅合金第57-61页
     ·样品制备和处理第57-58页
     ·SKM分析第58-61页
   ·不同热处理温度下的铜铅合金第61-67页
     ·样品处理第61-62页
     ·SKM分析第62-67页
第5章 化学镀层的SKM研究第67-74页
   ·化学镀钴磷合金第67-68页
     ·化学镀钴磷合金的原理第67页
     ·化学镀钴磷合金的工艺第67-68页
   ·化学镀钴磷合金第68-74页
     ·化学镀钴磷合金的结构与形貌第68页
     ·化学镀层截面的SKM分析第68-69页
     ·化学镀层的SKM分析第69-74页
结论第74-76页
参考文献第76-81页
致谢第81-82页
附录第82页

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