热膜式气体质量流量传感器的研制
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-13页 |
| ·任务来源 | 第10-11页 |
| ·热膜式气体质量流量传感器的特点以及现状 | 第11-12页 |
| ·现实意义和应用前景 | 第12页 |
| ·本文开展的主要工作 | 第12-13页 |
| 2 原理与数学模型 | 第13-21页 |
| ·热膜式气体质量流量传感器的原理与结构 | 第13-15页 |
| ·原理 | 第13页 |
| ·结构 | 第13-15页 |
| ·数学模型 | 第15-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 3 传感器芯片的设计 | 第21-34页 |
| ·芯片设计的整体思路 | 第21页 |
| ·设计方案的选定 | 第21-23页 |
| ·结构热传导和热流场的有限元分析 | 第23-29页 |
| ·芯片热传导的有限元分析 | 第24-25页 |
| ·热流场的有限元分析 | 第25-29页 |
| ·芯片电阻的设计和布局 | 第29-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 4 传感器敏感芯片的制备 | 第34-44页 |
| ·硅片的选取与前处理 | 第34页 |
| ·芯片的制作 | 第34-43页 |
| ·二氧化硅薄膜的制备 | 第35-38页 |
| ·溅射镍薄膜 | 第38页 |
| ·光刻电阻条 | 第38-40页 |
| ·芯片热处理 | 第40-41页 |
| ·腐蚀硅杯 | 第41-42页 |
| ·划片与键合 | 第42-43页 |
| ·芯片制作中发现的问题以及解决方法 | 第43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 5 传感器芯片的测试 | 第44-62页 |
| ·传感器流量范围的限定 | 第44-46页 |
| ·流量范围的数学限定 | 第44-46页 |
| ·芯片电阻热敏特性的测定 | 第46-54页 |
| ·气体流量与输出电压的关系 | 第54-56页 |
| ·输出电压的测试 | 第54-56页 |
| ·测试结果的比较研究 | 第56-60页 |
| ·实验中的问题和建议 | 第60-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 6 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录A | 第66-67页 |
| 附录B | 第67-69页 |
| 附录C | 第69-72页 |
| 在学研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
