LD反馈干涉理论及其在表面轮廓测量中的应用研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 概述 | 第7-12页 |
| ·激光干涉测量技术 | 第7-8页 |
| ·激光反馈干涉技术的发展 | 第8-11页 |
| ·激光反馈干涉技术 | 第8-9页 |
| ·半导体激光反馈干涉技术 | 第9-11页 |
| ·论文的主要工作 | 第11-12页 |
| 第二章 激光反馈干涉技术的基本理论研究 | 第12-38页 |
| ·激光反馈干涉研究进展 | 第12-14页 |
| ·本章节的研究内容 | 第14页 |
| ·激光反馈干涉原理 | 第14-24页 |
| ·工作原理 | 第14-15页 |
| ·激光反馈干涉理论模型 | 第15-19页 |
| ·激光反馈干涉的仿真 | 第19-21页 |
| ·多外腔反馈干涉理论 | 第21-24页 |
| ·半导体激光反馈干涉的实验系统 | 第24-28页 |
| ·半导体激光光源 | 第25-26页 |
| ·半导体激光反馈干涉技术基本理论实验光路 | 第26-27页 |
| ·PZT驱动系统 | 第27页 |
| ·激光反馈干涉技术的基本理论实验研究 | 第27-28页 |
| ·激光反馈干涉的特点 | 第28-30页 |
| ·激光反馈干涉技术的应用研究 | 第30-37页 |
| ·速度测量 | 第30-31页 |
| ·绝对距离测量 | 第31-33页 |
| ·位移测量 | 第33-37页 |
| ·小节 | 第37-38页 |
| 第三章 LD干涉仪条纹锁定现象的理论和实验研究 | 第38-58页 |
| ·引言 | 第38-42页 |
| ·激光干涉条纹锁定电反馈方案 | 第38-41页 |
| ·激光干涉条纹锁定光反馈技术的研究 | 第41-42页 |
| ·LD干涉仪光反馈干涉及条纹锁定理论分析 | 第42-49页 |
| ·建立理论模型 | 第42-44页 |
| ·激发谐振波长的仿真 | 第44-47页 |
| ·条纹(相位)锁定分析 | 第47-49页 |
| ·LD干涉仪实验系统构建及实验 | 第49-51页 |
| ·光学系统 | 第50页 |
| ·光电处理与成像系统 | 第50-51页 |
| ·LD干涉仪基本工作原理 | 第51页 |
| ·泰曼—格林LD反馈干涉仪条纹锁定实验 | 第51-56页 |
| ·实验方案 | 第51页 |
| ·传统干涉信号的观察 | 第51-53页 |
| ·反馈干涉信号的观察 | 第53-55页 |
| ·波长与光程差的变化关系 | 第55页 |
| ·振动强度的范围 | 第55-56页 |
| ·条纹锁定现象的应用前景 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第四章 激光干涉仪精细表面粗糙度测量的研究 | 第58-75页 |
| ·表面轮廓测量的基本参数 | 第58-64页 |
| ·粗糙度评定标准 | 第58-60页 |
| ·表面粗糙度评定参数 | 第60-64页 |
| ·表面粗糙度光学检测方法 | 第64-67页 |
| ·光干涉表面轮廓参数测量理论与实验 | 第67-74页 |
| ·激光干涉仪基本工作原理 | 第67-69页 |
| ·LD泰曼—格林干涉仪进行表面轮廓测量原理 | 第69-72页 |
| ·干涉仪反射镜表面轮廓测量试验 | 第72-74页 |
| ·小结 | 第74-75页 |
| 第五章 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84页 |
