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基于时间差法的光学共焦式测头

中文摘要第1-4页
英文摘要第4-7页
第一章 绪论第7-14页
   ·三坐标测量机与三坐标测头第7-8页
   ·光学非接触测头第8-12页
     ·三角法测头第9-10页
     ·激光聚焦测头第10-11页
     ·视像测头第11-12页
     ·光纤式测头第12页
   ·课题研究的目的和内容第12-14页
第二章 基于时间差法的光学共焦式测头测量原理第14-24页
   ·动态主动调焦法原理第14-15页
   ·基于时间差法的光学共焦式测头测量原理第15-22页
     ·振动透镜轴向位移测量方法第15-18页
     ·透镜振动机构第18-19页
     ·双透镜振动光路计算第19-22页
   ·基于时间法的光学共焦式测头的结构原理方案第22-24页
第三章 系统结构设计第24-35页
   ·音叉振动系统第24-27页
     ·音叉结构设计第24-25页
     ·音叉材料的选择和热处理第25-27页
   ·光学零件的选型与设计第27-29页
   ·光源选择第29-30页
   ·系统的机械结构设计第30-35页
第四章 信号处理系统设计第35-51页
   ·信号处理系统的组成第35-36页
   ·音叉激振电路第36页
   ·光电信号转换和放大电路第36-38页
   ·MCU控制系统第38-51页
     ·MCU选型第38-40页
     ·MCU控制设计思想和流程图第40-44页
     ·程序设计第44-51页
第五章 系统实验第51-56页
   ·音叉振动稳定性第51-52页
   ·系统测量精度实验第52-56页
第六章 总结与展望第56-58页
   ·主要工作总结第56-57页
   ·技术展望第57-58页
参考文献第58-60页
攻读硕士学位期间完成的学术论文第60-61页
致谢第61页

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