纳米级铜锌合金薄膜的研制及其基础研究

第一章 文献综述	第1-24页
·铜锌合金粉简介	第8-12页
·铜锌合金粉的性质和用途	第8页
·铜金粉的研究现状	第8-10页
·铜金粉的传统生产工艺及其产品特点	第10-12页
·纳米级片状铜锌合金粉及其生产工艺的提出	第12页
·金属及合金纳米薄膜的制备	第12-22页
·纳米薄膜简介	第12-13页
·金属及合金纳米薄膜的制备方法	第13-22页
·本文的研究目的及意义	第22-24页
第二章 实验方法	第24-34页
·溅射镀膜实验装置	第24-26页
·原材料	第26页
·实验药剂	第26页
·实验过程	第26-28页
·实验前的准备	第26-27页
·实验条件的选择	第27页
·实验步骤	第27-28页
·铜锌合金靶材及薄膜的分析检测	第28-34页
·铜锌合金靶材的成份分析	第28-29页
·铜锌合金薄膜表面形貌的观测	第29-30页
·铜锌合金薄膜表面光泽度的测定	第30-31页
·铜锌合金薄膜的成份分析	第31-32页
·铜锌合金薄膜厚度的测定	第32-34页
第三章 实验结果与讨论	第34-61页
·铜锌合金靶材与铜锌合金薄膜的检测结果与讨论	第34-51页
·铜锌合金靶材的成份分析结果与讨论	第34-35页
·铜锌合金薄膜表面形貌的观测结果与讨论	第35-44页
·铜锌合金薄膜表面光泽度的测定结果与讨论	第44-45页
·铜锌合金薄膜的成份分析结果与讨论	第45-48页
·铜锌合金薄膜厚度的测定结果与讨论	第48-51页
·溅射工艺条件对铜锌合金薄膜生长速率的影响	第51-56页
·溅射电压对薄膜生长速率的影响	第51-52页
·靶基距对薄膜生长速率的影响	第52-54页
·溅射压力对薄膜生长速率的影响	第54-55页
·溅射时间对薄膜生长速率的影响	第55-56页
·最佳溅射工艺参数的确定	第56-57页
·溅射铜锌合金薄膜微观机制的探讨	第57-61页
·固相铜锌合金核心形成过程的热力学分析	第57-59页
·固相铜锌合金的形核率	第59-61页
第四章 结论	第61-62页
参考文献	第62-66页
致谢	第66页