1 绪论 | 第1-10页 |
·课题的研究背景 | 第7-8页 |
·项目来源 | 第8页 |
·本论文的主要研究工作 | 第8-10页 |
2 莫尔技术以及光干涉计量中的位相测量方法 | 第10-18页 |
·莫尔技术 | 第10-12页 |
·莫尔条纹概述 | 第10-11页 |
·莫尔条纹技术 | 第11页 |
·移相莫尔技术 | 第11-12页 |
·虚光栅应用于莫尔技术 | 第12页 |
·光学干涉计量中的位相测量方法 | 第12-16页 |
·移相干涉术 | 第13-15页 |
·空间载波移相法 | 第15页 |
·傅立叶变换方法 | 第15-16页 |
·移相莫尔技术对干涉图相位的提取 | 第16-17页 |
·本章小结 | 第17-18页 |
3 虚光栅移相莫尔条纹法 | 第18-48页 |
·虚光栅在干涉图处理中的相关应用 | 第18-19页 |
·虚光栅移相莫尔条纹法原理 | 第19-24页 |
·莫尔条纹法分析干涉图的理论基础 | 第19-21页 |
·莫尔条纹的形成 | 第19-20页 |
·通过空间载频干涉图得到莫尔条纹 | 第20-21页 |
·莫尔条纹技术与移相技术结合处理静态干涉图 | 第21页 |
·虚光栅移相莫尔条纹法 | 第21-23页 |
·虚光栅移相莫尔条纹法处理流程 | 第23-24页 |
·程序设计 | 第24-47页 |
·移相参考干涉图的生成 | 第24-26页 |
·待测干涉图载频的获取 | 第24-25页 |
·移相参考干涉图的生成 | 第25-26页 |
·图像滤波提取莫尔信息 | 第26-47页 |
·莫尔条纹图的频谱分析 | 第27-28页 |
·滤波器概述 | 第28-29页 |
·空域低通滤波提取莫尔信息 | 第29-30页 |
·窗函数法设计滤波器 | 第30-43页 |
·频域低通滤波提取莫尔信息 | 第43-44页 |
·空域滤波和频域滤波比较 | 第44-46页 |
·滤波过程程序流程图 | 第46-47页 |
·波面消倾斜 | 第47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
4 影响测量的因素分析以及实际测量 | 第48-62页 |
·影响测量范围和测量精度的因素分析 | 第48-59页 |
·载频判断不准确产生的影响 | 第48-49页 |
·载频的取值对测量范围和测量精度的影响 | 第49-51页 |
·图像分辨率对测量范围和测量精度的影响 | 第51-52页 |
·滤波运算带来的误差 | 第52-53页 |
·干涉图延拓 | 第53-59页 |
·Gerchberg延拓方法的原理 | 第54-55页 |
·干涉图延拓后对处理结果的改善 | 第55-59页 |
·实际测量 | 第59-61页 |
·本章小结 | 第61-62页 |
5 虚光栅移相莫尔条纹法的应用研究 | 第62-80页 |
·波面评价 | 第62-64页 |
·空气扰动实验 | 第64-69页 |
·实验步骤 | 第66页 |
·同一位置所测波面稳定性评价指标 | 第66-67页 |
·数据分析 | 第67-69页 |
·手持被测件引起测度温度变化对测试影响的实验 | 第69-71页 |
·实验器件以及实验过程 | 第69页 |
·数据分析 | 第69-71页 |
·导轨直线度的测量 | 第71-77页 |
·直线度误差简介 | 第72-73页 |
·由干涉波面测量导轨直线度 | 第73页 |
·实际测量 | 第73-74页 |
·数据处理 | 第74-75页 |
·实验数据 | 第75-77页 |
·角度测量 | 第77-80页 |
·测量原理及实际测量 | 第77-78页 |
·图像处理以及结果分析 | 第78-80页 |
6 全文总结 | 第80-82页 |
·本文的主要工作和创新点 | 第80页 |
·需要改进的地方和有待解决的问题 | 第80-82页 |
致谢 | 第82-83页 |
参考文献 | 第83-87页 |
附录A: 空域滤波和频域滤波测量精度和范围比较数围 | 第87-90页 |
附录B: 最小二乘法拟合平面和直线 | 第90-91页 |