提高CCD用于非接触式检测小尺寸精度的研究及其模拟实验

中文摘要	第1-4页
英文摘要	第4-7页
第一章 绪论	第7-16页
1．1 几何量测量技术的发展	第7-9页
1．2 电荷耦合器件的起源与发展概况	第9-10页
1．3 CCD器件的特点	第10-11页
1．4 CCD技术的应用	第11-15页
1．5 论文研究内容	第15-16页
第二章 CCD器件原理及选用	第16-28页
2．1 CCD器件的结构及其工作原理	第16-22页
2．2 CCD的种类	第22-24页
2．3 CCD器件的选择	第24-28页
第三章 驱动电路	第28-37页
3．1 驱动电路的作用与设计	第28-29页
3．2 模拟实验用驱动电路设计	第29-37页
第四章 光学系统设计	第37-49页
4．1 成象系统设计	第37-39页
4．2 照明系统设计	第39-42页
4．3 照明斜光束在测量中的影响	第42-47页
4．4 衍射现象对测量的影响	第47-49页
第五章 视频信号的处理	第49-61页
5．1 视频信号处理系统的作用	第49-51页
5．2 模拟实验中视频信号处理系统设计	第51-61页
第六章 模拟实验及精度分析	第61-71页
6．1 模拟实验内容及实验装置	第61-63页
6．2 模拟实验数据	第63-69页
6．3 精度分析	第69-71页
结论	第71-72页
致谢	第72-73页
参考文献	第73-77页
附 录	第77页