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硅基ZnO(MgZnO)薄膜及发光器件

摘要第1-6页
Abstract第6-12页
第1章 前言第12-14页
第2章 文献综述——ZnO材料及器件的研究现状第14-50页
   ·引言第14页
   ·ZnO的基本性质第14-20页
     ·晶体结构和能带结构第15-17页
     ·电学性能第17页
     ·光学性能第17-18页
     ·其他性能第18-20页
   ·ZnO发光二极管第20-32页
     ·同质结发光二极管第20-25页
     ·异质结发光二极管第25-30页
     ·金属—绝缘层—半导体发光二极管第30-32页
   ·ZnO紫外激光第32-41页
     ·电子束抽运ZnO激光第32页
     ·光抽运ZnO激光第32-40页
     ·电抽运ZnO激光第40-41页
   ·MgZnO合金材料与器件第41-46页
     ·MgZnO合金材料研究进展第42-43页
     ·MgZnO合金相关发光器件研究进展第43-46页
   ·硅基ZnO发光器件的研究进展第46-48页
   ·小结第48-50页
第3章 硅基ZnO(MgZnO)薄膜和器件制备及薄膜表征第50-70页
   ·引言第50页
   ·ZnO(MgZnO)薄膜的制备及表征第50-64页
     ·直流反应磁控溅射法制备ZnO(MgZnO)薄膜及表征第51-58页
     ·溶胶—凝胶法制备ZnO(MgZnO)薄膜及表征第58-64页
   ·器件制备工艺第64-66页
     ·电子束蒸发和溶胶—凝胶法制备绝缘层第64-65页
     ·电极制备第65-66页
   ·用于制备薄膜的设备和测试仪器第66-69页
     ·磁控溅射和电子束蒸发设备第66-67页
     ·晶体结构、形貌与组成的表征仪器第67页
     ·局部形貌和导电性表征仪器第67-68页
     ·光学性能测试仪器第68页
     ·电学性能测试仪器第68-69页
   ·本章小结第69-70页
第4章 ZnO/Si和MgZnO/Si异质结的电致发光及载流子输运第70-80页
   ·引言第70-71页
   ·ZnO/Si和MgZnO/Si异质结制备第71页
   ·ZnO/Si异质结的电致发光和电流—电压特性第71-73页
   ·MgZnO/Si异质结的电致发光和电流—电压特性第73-74页
   ·载流子输运特性及电致发光的机理第74-79页
     ·平衡状态下ZnO/Si异质结的能带图第75-76页
     ·ZnO/n~+-Si异质结第76-77页
     ·ZnO/n~--Si异质结第77页
     ·ZnO/p~+-Si异质结第77-78页
     ·ZnO/p~--Si异质结第78页
     ·MgZnO/Si异质结第78-79页
   ·本章小结第79-80页
第5章 硅基ZnO(MgZnO)薄膜MIS器件的波长可调的紫外电致自发辐射发光第80-93页
   ·引言第80-81页
   ·硅基ZnO(MgZnO)薄膜MIS器件制备第81页
   ·ZnO-MIS器件的载流子输运特性第81-85页
   ·ZnO-MIS器件的纯紫外电致自发辐射发光及机理第85-89页
     ·ZnO-MIS器件的纯紫外电致自发辐射发光第86-87页
     ·ZnO-MIS器件的纯紫外电致自发辐射发光的机理第87-89页
   ·MgZnO-MIS器件波长可调的纯紫外电致自发辐射发光第89-91页
   ·基于非取向性生长的ZnO(MgZnO)薄膜的MIS器件的纯紫外电致自发辐射发光第91-92页
   ·本章小结第92-93页
第6章 硅基ZnO(MgZnO)薄膜的室温电抽运紫外随机激光第93-105页
   ·引言第93-94页
   ·器件制备第94页
   ·取向性生长的ZnO薄膜的室温电抽运随机激光第94-102页
     ·厚度约为300nm的ZnO薄膜的电抽运随机激光第94-98页
     ·厚度约为50nm的ZnO薄膜的电抽运随机激光第98-100页
     ·ZnO薄膜产生电抽运随机激光的机理第100-102页
   ·取向性生长的MgZnO薄膜的室温电抽运随机激光第102-103页
   ·非取向性生长ZnO(MgZnO)薄膜的室温电抽运随机激光第103-104页
   ·本章小结第104-105页
第7章 硅基MIS器件在高电场下激发的氮微等离子体发光第105-112页
   ·引言第105页
   ·器件制备第105-106页
   ·MIS器件在高电场下的电致发光第106-110页
   ·MIS器件在高电场下的电致发光的根源与机理第110-111页
   ·本章小结第111-112页
第8章 硅基ZnO(MgznO)薄膜的电场控制光致发光和电场诱导光抽运随机激光第112-131页
   ·引言第112-113页
   ·器件制备和EPL测试第113-114页
   ·溅射法制备的ZnO(MgZnO)薄膜的EPL特性和机理第114-123页
     ·ZnO薄膜的EPL特性第114-118页
     ·ZnO薄膜的EPL的机理第118-121页
     ·MgZnO薄膜的EPL特性第121-123页
   ·ZnO(MgZnO)薄膜的电场诱导光抽运随机激光第123-128页
     ·电场诱导光抽运随机激光现象第123-125页
     ·电场诱导光抽运随机激光机理第125-128页
   ·溶胶—凝胶法制备的ZnO薄膜的EPL特性和机理第128-130页
   ·本章小结第130-131页
第9章 总结第131-136页
参考文献第136-151页
攻读博士期间发表(提交)的论文和申请的专利第151-153页
致谢第153-154页

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