有机薄膜晶体管的研制--复合栅介质膜的制备及性能研究
摘要 | 第1-4页 |
Abstract | 第4-6页 |
第一章 有机电子学概论 | 第6-10页 |
·前言 | 第6页 |
·国内外研究现状 | 第6-7页 |
·OTFT器件应用 | 第7-10页 |
第二章 OTFT材料、工艺及器件结构 | 第10-18页 |
·材料的选择 | 第10-14页 |
·有源层材料 | 第10-11页 |
·绝缘膜材料 | 第11-13页 |
·电极材料 | 第13-14页 |
·工艺的选择 | 第14-15页 |
·器件的结构 | 第15-18页 |
第三章 复合绝缘膜性能研究 | 第18-32页 |
·双层复合栅绝缘膜的制备 | 第18-19页 |
·所使用的材料 | 第18页 |
·所需要的仪器及设备 | 第18页 |
·制备流程 | 第18-19页 |
·绝缘膜性能测试 | 第19页 |
·结果与讨论 | 第19-32页 |
·退火温度对绝缘膜介电特性的影响 | 第20-23页 |
·绝缘膜内的陷阱 | 第23-26页 |
·绝缘膜漏电基理的讨论 | 第26-32页 |
第四章 OTFT器件制备及性能研究 | 第32-42页 |
·OTFT器件工作原理 | 第32页 |
·OTFT器件的制备 | 第32-33页 |
·结果与分析 | 第33-42页 |
·阈值电压 | 第36-37页 |
·OTFT器件迁移率 | 第37-39页 |
·开关电流比 | 第39页 |
·结果分析 | 第39-42页 |
第五章 结论与展望 | 第42-44页 |
·结论 | 第42-43页 |
·展望 | 第43-44页 |
致谢 | 第44-45页 |
参考文献 | 第45-48页 |
附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第48页 |