有机薄膜晶体管的研制--复合栅介质膜的制备及性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 第一章 有机电子学概论 | 第6-10页 |
| ·前言 | 第6页 |
| ·国内外研究现状 | 第6-7页 |
| ·OTFT器件应用 | 第7-10页 |
| 第二章 OTFT材料、工艺及器件结构 | 第10-18页 |
| ·材料的选择 | 第10-14页 |
| ·有源层材料 | 第10-11页 |
| ·绝缘膜材料 | 第11-13页 |
| ·电极材料 | 第13-14页 |
| ·工艺的选择 | 第14-15页 |
| ·器件的结构 | 第15-18页 |
| 第三章 复合绝缘膜性能研究 | 第18-32页 |
| ·双层复合栅绝缘膜的制备 | 第18-19页 |
| ·所使用的材料 | 第18页 |
| ·所需要的仪器及设备 | 第18页 |
| ·制备流程 | 第18-19页 |
| ·绝缘膜性能测试 | 第19页 |
| ·结果与讨论 | 第19-32页 |
| ·退火温度对绝缘膜介电特性的影响 | 第20-23页 |
| ·绝缘膜内的陷阱 | 第23-26页 |
| ·绝缘膜漏电基理的讨论 | 第26-32页 |
| 第四章 OTFT器件制备及性能研究 | 第32-42页 |
| ·OTFT器件工作原理 | 第32页 |
| ·OTFT器件的制备 | 第32-33页 |
| ·结果与分析 | 第33-42页 |
| ·阈值电压 | 第36-37页 |
| ·OTFT器件迁移率 | 第37-39页 |
| ·开关电流比 | 第39页 |
| ·结果分析 | 第39-42页 |
| 第五章 结论与展望 | 第42-44页 |
| ·结论 | 第42-43页 |
| ·展望 | 第43-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第48页 |