| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-30页 |
| ·微纳尺度表征常用技术 | 第12-22页 |
| ·俄歇电子能谱优异的空间分辨本领 | 第22-24页 |
| ·论文架构 | 第24-26页 |
| 参考文献 | 第26-30页 |
| 第二章 俄歇电子能谱基本方法 | 第30-46页 |
| ·俄歇电子能谱基本原理 | 第30-32页 |
| ·俄歇电子能谱的实验技术 | 第32-36页 |
| ·俄歇电子能谱的仪器设备 | 第36-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 第三章 俄歇价电子能谱新技术 | 第46-66页 |
| ·俄歇电子能谱的广义位移概念 | 第46-48页 |
| ·俄歇价电子谱的理论方法 | 第48-59页 |
| ·俄歇价电子能谱的测量物理量标定 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 第四章 纳米微区应力测量技术 | 第66-78页 |
| ·材料微区应力测量技术的现状 | 第66-68页 |
| ·俄歇电子谱应力测量技术的建立 | 第68-72页 |
| ·侧向外延GaN微区应力分布的测量 | 第72-74页 |
| ·小结 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 第五章 非接触性纳米微区电学测量技术 | 第78-98页 |
| ·纳米微区电学测量技术的现状 | 第78-81页 |
| ·俄歇电子谱电学测量技术的建立 | 第81-86页 |
| ·AlGaN/GaN异质截面局域电荷密度及其电场分布测量 | 第86-90页 |
| ·半导体纳米微区载流子类型的测定 | 第90-92页 |
| ·小结 | 第92-94页 |
| 参考文献 | 第94-98页 |
| 第六章 纳米微区结构相测量技术 | 第98-116页 |
| ·纳米微区结构相测量技术的现状 | 第98-102页 |
| ·俄歇电子谱结构相测量技术的建立 | 第102-107页 |
| ·俄歇电子谱结构相测量技术的应用 | 第107-110页 |
| ·小结 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-116页 |
| 第七章 总结与展望 | 第116-118页 |
| 博士期间发表的论文 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119页 |