| 目录 | 第1-7页 |
| CONTENTS | 第7-10页 |
| 摘要 | 第10-12页 |
| ABSTRACT | 第12-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-27页 |
| ·课题研究背景 | 第14-16页 |
| ·MEMS发展概况 | 第14-15页 |
| ·微流体系统概述 | 第15-16页 |
| ·微流体驱动与控制技术的分类及研究现状 | 第16-25页 |
| ·本课题的研究目的及意义 | 第25页 |
| ·课题来源 | 第25-26页 |
| ·本文的主要工作 | 第26-27页 |
| 第二章 超声行波微流体驱动的机理研究 | 第27-40页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·压电晶体的压电特性与振动模式 | 第27-32页 |
| ·压电晶体的特性常数与本构方程 | 第27-30页 |
| ·压电振子的振动模态与谐振特性 | 第30-32页 |
| ·驻波与行波 | 第32-35页 |
| ·驻波 | 第32页 |
| ·行波 | 第32-33页 |
| ·驻波的产生 | 第33页 |
| ·行波的产生 | 第33-35页 |
| ·超声行波微流体驱动的驱动模型与理论分析 | 第35-39页 |
| ·行波声场中的非线性声学现象 | 第35-36页 |
| ·圆环形模型与驱动机理 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第三章 超声行波微流体驱动有限元分析理论研究 | 第40-57页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·有限元分析的基础理论 | 第40-47页 |
| ·有限元法 | 第40-42页 |
| ·ANSYS软件介绍 | 第42-43页 |
| ·压电陶瓷的有限元模型 | 第43-46页 |
| ·耦合场分析介绍 | 第46-47页 |
| ·动力学分析原理 | 第47-50页 |
| ·结构的模态分析原理 | 第47-48页 |
| ·结构动态响应分析原理 | 第48-50页 |
| ·声场有限元分析理论 | 第50-56页 |
| ·理想流体介质的基本方程 | 第50-51页 |
| ·无衰减声波的有限元分析 | 第51-53页 |
| ·衰减声波的有限元分析 | 第53-54页 |
| ·声场声固耦合问题 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 超声行波微流体驱动圆环形模型的有限元分析 | 第57-71页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·圆环形模型的模态仿真 | 第57-64页 |
| ·建立模型 | 第57-59页 |
| ·加载并求解 | 第59页 |
| ·模态扩展及结果分析 | 第59-61页 |
| ·结构参数对固有频率的影响 | 第61-64页 |
| ·圆环形结构模型的谐响应分析 | 第64-66页 |
| ·圆环形声固耦合模型的建模 | 第66-68页 |
| ·声固耦合模型的建立(前处理模块/PREP7) | 第66-68页 |
| ·声固耦合模型的加载和求解方法(计算模块/SOLUTION) | 第68页 |
| ·声固耦合模型模态分析的结果处理(后处理模块/POST1) | 第68页 |
| ·声固耦合模型的有限元计算 | 第68-70页 |
| ·声固耦合模型的模态分析 | 第68-69页 |
| ·声固耦合模型的谐响应分析 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 超声行波圆筒模型的模态分析和流固耦合分析 | 第71-82页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·圆筒模型建立及模态分析 | 第71-73页 |
| ·圆筒模型的建立 | 第71-72页 |
| ·圆筒模型的模态分析 | 第72-73页 |
| ·声固耦合模型模态分析 | 第73-75页 |
| ·声固耦合模态分析 | 第73-74页 |
| ·不同流体的模态分析对比分析 | 第74-75页 |
| ·圆筒模型流固耦合分析 | 第75-80页 |
| ·理论基础 | 第75-77页 |
| ·圆筒形流固耦合模型的建模 | 第77-79页 |
| ·流固耦合结果分析 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-82页 |
| 第六章 总结与展望 | 第82-84页 |
| ·总结 | 第82-83页 |
| ·展望 | 第83-84页 |
| 附录 | 第84-93页 |
| 附录1:ANSYS圆环形模型动力学分析及声固耦合分析核心程序 | 第84-88页 |
| 附录2:ANSYS圆环形模型模态分析和流固耦合分析核心程序 | 第88-93页 |
| 参考文献 | 第93-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第100-101页 |
| 攻读硕士学位期间参与的科研项目 | 第101-102页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第102页 |
