激光共聚焦信号处理及控制技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景和意义 | 第8-9页 |
| ·共聚焦测量技术的研究和应用现状 | 第9-15页 |
| ·课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 激光共聚焦信号采集及控制系统的设计 | 第16-32页 |
| ·差动共聚焦测量的基本原理 | 第16-19页 |
| ·共焦测量原理 | 第16-17页 |
| ·差动共焦测量原理 | 第17-19页 |
| ·激光共聚焦信号采集及控制系统的总体设计 | 第19-31页 |
| ·测量系统原理 | 第19-20页 |
| ·光电信号探测系统 | 第20-28页 |
| ·差动共焦测量系统 | 第28-29页 |
| ·精密视觉位移测量系统 | 第29-30页 |
| ·显微视觉系统 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 激光共聚焦信号采集及控制系统的软件设计 | 第32-44页 |
| ·差动共焦测量模块 | 第32-38页 |
| ·聚焦信号的采集 | 第32-35页 |
| ·轴向运动控制 | 第35-37页 |
| ·差动共焦测量的闭环控制 | 第37-38页 |
| ·精密视觉位移测量模块 | 第38-42页 |
| ·线阵CCD的选择 | 第38-39页 |
| ·线阵CCD采集系统 | 第39-41页 |
| ·光斑位置算法 | 第41-42页 |
| ·显微视觉模块 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 实验结果和分析 | 第44-53页 |
| ·聚焦误差信号采集 | 第44-48页 |
| ·针孔位置调节 | 第44-46页 |
| ·光电转换后续电路的调试 | 第46-47页 |
| ·信号采集 | 第47-48页 |
| ·精密位移测量系统的标定 | 第48-51页 |
| ·数据采集及处理 | 第48-50页 |
| ·位移测量系统的标定 | 第50-51页 |
| ·显微系统的标定 | 第51-52页 |
| ·像素当量的标定 | 第51-52页 |
| ·放大倍数的标定 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |
| 附录1 | 第57-58页 |
| 附录2 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
