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ZnO薄膜和纳米结构的制备及其特性研究

内容提要第1-8页
第一章 绪论第8-19页
   ·引言第8页
   ·ZnO 的基本性质第8-11页
   ·ZnO 的应用第11页
   ·ZnO 纳米材料的制备和应用第11-14页
   ·ZnO 纳米材料的制备方法—水热法第14-17页
   ·本论文的选题背景和研究内容第17-19页
第二章 在自支撑金刚石膜生长面上制备高质量 ZnO 薄膜第19-35页
   ·引言第19-21页
   ·射频磁控溅射设备第21-23页
     ·射频磁控溅射原理和特点第21-22页
     ·实验设备第22-23页
   ·实验过程第23-26页
     ·CVD 金刚石衬底的制备及处理第23-25页
     ·ZnO 薄膜的制备第25页
     ·样品表征第25-26页
   ·实验结果与分析第26-33页
   ·本章小结第33-35页
第三章 金刚石衬底上制备ZnO 纳米棒及其光电性质的研究第35-58页
   ·引言第35页
   ·水热法简介第35-36页
   ·实验过程第36-38页
     ·硼掺杂金刚石薄膜的制备第36-37页
     ·ZnO 籽晶层的制备第37页
     ·ZnO 纳米棒阵列的制备第37-38页
   ·实验结果与分析第38-49页
     ·硼掺杂金刚石膜第38-39页
     ·ZnO 纳米棒阵列的结构、形貌与成分分析第39-41页
     ·不同衬底对 ZnO 纳米棒阵列的影响第41-43页
     ·反应时间对 ZnO 纳米棒阵列的影响第43-45页
     ·反应物浓度对 ZnO 纳米棒形貌的影响第45-47页
     ·反应后溶液的利用第47-49页
   ·金刚石衬底上 ZnO 纳米棒阵列生长过程和生长机理第49-50页
   ·金刚石衬底上 ZnO 纳米棒阵列光学性质研究第50-53页
   ·n-型 ZnO 纳米棒/p-型金刚石异质结结构的制备及性能研究第53-56页
   ·本章小结第56-58页
第四章 Si 衬底上制备 ZnO 纳米棒/片复合结构第58-69页
   ·引言第58页
   ·实验过程第58-60页
     ·高纯 Al 膜的溅射第58-59页
     ·在 Si 衬底上制备 Al 的纳米凹坑阵列第59页
     ·ZnO 纳米棒/片复合结构的制备第59-60页
   ·实验结果与分析第60-63页
     ·ZnO 纳米棒/片的形貌、结构分析第60-62页
     ·ZnO 纳米片的形貌、结构分析第62-63页
   ·ZnO 纳米棒/片复合结构可能的生长过程和机理第63-65页
   ·ZnO 纳米棒/片的光致发光特性的研究第65-67页
   ·本章小结第67-69页
第五章 结论与展望第69-72页
参考文献第72-82页
攻读博士学位期间发表的学术论文第82-84页
致谢第84-86页
中文摘要第86-88页
Abstract第88-89页

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