| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目次 | 第7-9页 |
| 1 绪论 | 第9-15页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·表面等离子共振传感器的发展历程 | 第9-12页 |
| ·本论文的章节安排 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第13-15页 |
| 2 时域有限差分方法 | 第15-29页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·时域有限差分方法的基本原理 | 第16-21页 |
| ·金属色散介质的模拟 | 第21-27页 |
| ·双波导耦合器和平面波导中深刻蚀槽的模拟验证程序精度 | 第27-29页 |
| 3 表面等离子波理论 | 第29-38页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·金属的光学性质 | 第29-30页 |
| ·表面等离子波的存在条件 | 第30-33页 |
| ·典型的表面等离子共振传感器 | 第33-38页 |
| 4 基于脊型波导的表面等离子共振传感器 | 第38-51页 |
| ·引言 | 第38-39页 |
| ·简单模型的分析 | 第39-41页 |
| ·时域有限差分方法模拟表面等离子共振传感器 | 第41-51页 |
| 5 基于平板波导的表面等离子共振传感器 | 第51-63页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·器件结构 | 第52-53页 |
| ·简单模型分析 | 第53-55页 |
| ·时域有限差分方法分析 | 第55-61页 |
| ·器件设计 | 第61-63页 |
| 6 制作工艺的研究 | 第63-68页 |
| ·自对准方法设计掩膜图形 | 第63-64页 |
| ·平面光波导制作工艺流程 | 第64-66页 |
| ·测试方案 | 第66-68页 |
| 7 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 作者简介 | 第76页 |
| 个人简介 | 第76页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第76页 |