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无源多层光波导器件半约束优化设计方法与验证

摘要第5-6页
Abstract第6页
第一章 绪论第9-19页
    1.1 多层波导技术的研究现状第9-13页
        1.1.1 SiN-on-SOI多层波导第10-11页
        1.1.2 a-Si:H与AlN多层波导第11-12页
        1.1.3 聚合物多层波导第12-13页
    1.2 光波导器件优化设计方法的研究进展第13-17页
        1.2.1 直接二元搜索方法第13-14页
        1.2.2 逆向设计方法第14-15页
        1.2.3 拓扑优化方法第15-17页
    1.3 本文主要工作第17-19页
第二章 无源多层光波导器件半约束优化设计方法第19-27页
    2.1 原理与模型第19-23页
        2.1.1 优化设计目标第19-21页
        2.1.2 一维分区模型第21页
        2.1.3 二维分区模型第21-22页
        2.1.4 方法实施模块第22-23页
    2.2 半约束优化设计方法流程第23-26页
        2.2.1 一维分区模型方法流程第23-25页
        2.2.2 二维分区模型方法流程第25-26页
    2.3 本章小结第26-27页
第三章 硅基二氧化硅双层波导模式分析第27-41页
    3.1 理论基础第27-31页
        3.1.1 波动方程第27-29页
        3.1.2 有限元法第29-30页
        3.1.3 耦合模理论第30-31页
    3.2 SoS双层波导单模传输条件第31-33页
    3.3 波导尺寸对传输模式的影响第33-36页
    3.4 双层波导相对位置对传输模式的影响第36-39页
        3.4.1 双层波导间隔对传输模式的影响第36-38页
        3.4.2 双层波导相对偏移对传输模式的影响第38-39页
    3.5 本章小结第39-41页
第四章 硅基二氧化硅双层波导器件优化设计第41-53页
    4.1 多模波导3dB耦合器第41-45页
        4.1.1 优化过程第41-44页
        4.1.2 优化结果第44-45页
    4.2 波分解复用器第45-52页
        4.2.1 优化过程第46-50页
        4.2.2 优化结果第50-52页
    4.3 半约束优化设计方法的局限性第52页
    4.4 本章小结第52-53页
第五章 硅基二氧化硅波分解复用器实验研究第53-63页
    5.1 SoS双层波导制备工艺第53-54页
    5.2 波分解复用器测试方法第54-57页
        5.2.1 插入损耗第54-56页
        5.2.2 消光比第56页
        5.2.3 偏振相关损耗第56-57页
    5.3 波分解复用器耦合测试系统第57-58页
    5.4 波分解复用器测试结果与分析第58-60页
    5.5 本章小结第60-63页
第六章 总结与展望第63-65页
致谢第65-67页
参考文献第67-73页
作者简介第73页

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