一种无线声表面波质量传感器的研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第5-10页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第5-7页 |
| 1.2 国内外研究现状分析 | 第7-9页 |
| 1.3 主要研究内容和论文结构 | 第9-10页 |
| 第二章 声表面波传感器理论基础 | 第10-37页 |
| 2.1 声表面波技术 | 第10-14页 |
| 2.1.1 声表面波简介 | 第10-11页 |
| 2.1.2 叉指换能器的结构与原理 | 第11-13页 |
| 2.1.3 压电材料 | 第13-14页 |
| 2.2 声表面波传感器原理与结构 | 第14-15页 |
| 2.3 声表面波延迟线结构 | 第15-17页 |
| 2.3.1 延迟线基本原理 | 第15-17页 |
| 2.3.2 声表面波延迟线的优点 | 第17页 |
| 2.4 声表面波质量传感器的IDT理论模型 | 第17-30页 |
| 2.4.1 δ函数模型 | 第18-21页 |
| 2.4.2 脉冲响应模型 | 第21-24页 |
| 2.4.3 等效电路模型 | 第24-30页 |
| 2.5 SAW器件的二阶效应 | 第30-32页 |
| 2.6 声表面波传感器IDT基本结构参数设计 | 第32-37页 |
| 第三章 声表面波质量传感器的设计与仿真 | 第37-48页 |
| 3.1 声表面波质量传感器基片材料 | 第37页 |
| 3.2 三角形叉指换能器的设计与仿真 | 第37-44页 |
| 3.2.1 改进的δ函数模型 | 第37-40页 |
| 3.2.2 三角形换能器结构参数的设计 | 第40-44页 |
| 3.3 声表面波的多条耦合器 | 第44-46页 |
| 3.4 声表面波质量传感器结构的设计 | 第46-48页 |
| 第四章 声表面波质量传感器的仿真与特性分析 | 第48-56页 |
| 4.1 声表面波质量传感器的仿真 | 第48-50页 |
| 4.2 声表面波质量传感器的敏感机理 | 第50-53页 |
| 4.3 声表面波质量传感器的特性分析 | 第53-56页 |
| 4.3.1 薄膜电导率和厚度对器件灵敏度的影响 | 第53-55页 |
| 4.3.2 温度对器件灵敏度的影响 | 第55-56页 |
| 第五章 无线声表面波调理电路及无线模块的设计 | 第56-64页 |
| 5.1 SAW质量传感器振荡电路的设计 | 第57-58页 |
| 5.2 SAW质量传感器信号调理电路的设计 | 第58-62页 |
| 5.3 SAW质量传感器无线模块简述 | 第62-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
