射频板条CO2激光器波导电极镀膜及检测研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1.绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 射频板条CO_2激光器的应用 | 第9-10页 |
| 1.2 射频板条CO_2激光器国内外发展 | 第10-12页 |
| 1.2.1 电极基体材料的发展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 电极膜层材料的发展 | 第11-12页 |
| 1.2.3 磁控溅射技术的发展 | 第12页 |
| 1.3 课题来源和意义 | 第12-15页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.3.2 技术路线 | 第12-13页 |
| 1.3.3 课题意义 | 第13-15页 |
| 2.射频板条电极特性 | 第15-20页 |
| 2.1 板条电极光波导特性 | 第15-16页 |
| 2.2 Al_2O_3膜层反常色散特性 | 第16-17页 |
| 2.3 Al_2O_3膜层材料结构 | 第17-18页 |
| 2.4 本章小结 | 第18-20页 |
| 3.板条电极的热分析 | 第20-32页 |
| 3.1 热应力与热应变 | 第20-23页 |
| 3.2 电极热应变造成的畸变位移 | 第23-25页 |
| 3.3 电极热应变的有限元分析 | 第25-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 4.Al_2O_3膜层的实验制备 | 第32-40页 |
| 4.1 实验方案和处理 | 第32-35页 |
| 4.1.1 实验方案 | 第32-34页 |
| 4.1.2 实验处理 | 第34-35页 |
| 4.2 磁控溅射镀膜工艺 | 第35-37页 |
| 4.3 化学气相沉积法的探索 | 第37页 |
| 4.4 实验结果 | 第37-38页 |
| 4.5 本章小结 | 第38-40页 |
| 5.Al_2O_3膜层的检测 | 第40-49页 |
| 5.1 膜层结合强度测试 | 第40-41页 |
| 5.2 平滑度和成分检测 | 第41-44页 |
| 5.3 镀膜层的反射率检测 | 第44-47页 |
| 5.4 激光功率损耗检测 | 第47-48页 |
| 5.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 6.展望总结 | 第49-51页 |
| 6.1 总结 | 第49-50页 |
| 6.2 展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录 硕士期间参与科研活动 | 第57页 |
