| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 变量注释表 | 第13-14页 |
| 1 绪论 | 第14-23页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-21页 |
| 1.3 主要研究内容及结构安排 | 第21-23页 |
| 2 掺杂对微加热器电阻率的影响 | 第23-38页 |
| 2.1 影响微加热器功率的主要因素 | 第23-24页 |
| 2.2 迁移率与半导体电阻率的关系 | 第24-26页 |
| 2.3 由掺杂浓度计算高温下掺杂硅迁移率 | 第26-33页 |
| 2.4 掺杂对硅TCR曲线的影响分析 | 第33-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 3 温度对硅微加热器热导率的影响 | 第38-48页 |
| 3.1 热导率概述 | 第38-40页 |
| 3.2 半导体热导率计算模型 | 第40-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-48页 |
| 4 微加热器功率优化设计 | 第48-65页 |
| 4.1 微加热器优化设计概述 | 第48-49页 |
| 4.2 Intellisuite仿真 | 第49-55页 |
| 4.3 ANSYS仿真 | 第55-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-65页 |
| 5 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 作者简历 | 第71-73页 |
| 学位论文数据集 | 第73页 |