| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| abstract | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第16-32页 |
| 1.1 课题的提出 | 第16页 |
| 1.2 微机电系统(MEMS)简介 | 第16-19页 |
| 1.3 微流量传感器简介 | 第19-30页 |
| 1.3.1 热式流量传感器的分类 | 第22-24页 |
| 1.3.2 热式微流量传感器国内外研究现状 | 第24-30页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第30-32页 |
| 第二章 流量传感器的数学模型及COMSOL仿真分析 | 第32-44页 |
| 2.1 热式流量传感器的数学模型 | 第32-38页 |
| 2.1.1 热式流量传感器的工作原理 | 第32-34页 |
| 2.1.2 流体运动及换热方程的介绍 | 第34-36页 |
| 2.1.3 流体动力学边界层方程介绍 | 第36-37页 |
| 2.1.4 流体动力学中热边界层介绍 | 第37-38页 |
| 2.2 热温差式流量传感器的COMSOL仿真分析 | 第38-44页 |
| 2.2.1 COMSOL软件在流热耦合中简介 | 第38页 |
| 2.2.2 COMSOL软件中热式流量传感器的仿真分析 | 第38-43页 |
| 2.2.3 基于COMSOL技术热式MEMS流量传感器仿真分析总结.. | 第43-44页 |
| 第三章 MEMS流量传感器的设计及制作 | 第44-63页 |
| 3.1 热电阻温度传感器介绍 | 第44-47页 |
| 3.1.1 热电阻的工作原理 | 第45-46页 |
| 3.1.2 热电阻的结构形式 | 第46-47页 |
| 3.2 MEMS流量传感器的设计 | 第47-52页 |
| 3.2.1 流量传感器基底材料 | 第49页 |
| 3.2.2 测温电阻的材料 | 第49-50页 |
| 3.2.3 悬臂梁结构 | 第50页 |
| 3.2.4 热膜电阻的温度系数(TCR)测试 | 第50-52页 |
| 3.3 MEMS流量传感器的制作流程及方法 | 第52-57页 |
| 3.3.1 光刻 | 第53-55页 |
| 3.3.2 薄膜沉积 | 第55-56页 |
| 3.3.3 硅热氧化 | 第56页 |
| 3.3.4 湿法刻蚀 | 第56-57页 |
| 3.4 MEMS传感器加工工艺流程 | 第57-59页 |
| 3.5 MEMS流量传感器的封装 | 第59-61页 |
| 3.6 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 MEMS热式流量传感器外围控制电路设计及测试 | 第63-84页 |
| 4.1 MEMS流量传感器外围控制电路总体方案 | 第63页 |
| 4.2 模拟电路部分 | 第63-71页 |
| 4.2.1 桥式转化电路原理 | 第63-67页 |
| 4.2.2 恒温差电路 | 第67-68页 |
| 4.2.3 差分放大电路 | 第68-71页 |
| 4.3 数字电路部分 | 第71-77页 |
| 4.3.1 A/D转换电路 | 第71-73页 |
| 4.3.2 单片机系统电路设计 | 第73-75页 |
| 4.3.3 串口通信电路设计 | 第75-77页 |
| 4.4 流量传感器控制系统 | 第77-78页 |
| 4.5 MEMS热式流量传感器测试与标定 | 第78-83页 |
| 4.5.1 流量传感器的测试 | 第78-79页 |
| 4.5.2 测试步骤 | 第79-80页 |
| 4.5.3 测试结果 | 第80-81页 |
| 4.5.4 传感器的标定 | 第81-83页 |
| 4.6 本章小结 | 第83-84页 |
| 第五章 总结及展望 | 第84-86页 |
| 5.1 总结 | 第84-85页 |
| 5.2 展望 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-90页 |
| 攻读硕士期间的学术活动及成果情况 | 第90-91页 |
