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类金刚石薄膜的PECVD制备及其在水基润滑剂下的摩擦学性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 绪论第12-23页
    1.1 引言第12-13页
    1.2 类金刚石薄膜材料第13-15页
        1.2.1 类金刚石薄膜材料的概述第13-14页
        1.2.2 类金刚石薄膜材料的应用第14-15页
    1.3 类金刚石薄膜的制备方法第15-17页
        1.3.1 物理气相沉积法第15-16页
        1.3.2 化学气相沉积法第16-17页
    1.4 氧化石墨烯材料第17-18页
        1.4.1 氧化石墨烯材料简介第17页
        1.4.2 氧化石墨烯材料的制备方法第17-18页
    1.5 两种碳基材料在水环境中防腐耐磨性能研究第18-21页
        1.5.1 DLC薄膜在水环境中耐磨耐腐性能研究第19-20页
        1.5.2 GO作为水基润滑添加剂的应用研究第20-21页
    1.6 课题来源第21页
    1.7 选题的目的及主要的研究内容第21-23页
        1.7.1 选题的目的第21-22页
        1.7.2 研究内容第22-23页
第二章 制备薄膜材料的设备及方法第23-30页
    2.1 实验材料及设备第23-24页
    2.2 薄膜制备工艺第24页
    2.3 材料的表征方法第24-25页
        2.3.1 材料的形貌分析第24页
        2.3.2 拉曼与红外光谱分析第24-25页
        2.3.3 X射线光电子能谱分析第25页
        2.3.4 透射电子显微镜第25页
        2.3.5 薄膜的硬度及结合强度表征第25页
    2.4 DLC薄膜制备方法的优化第25-29页
        2.4.1 不同气体组分制备DLC薄膜第25-28页
        2.4.2 中频磁控溅射法制备过渡层第28-29页
    2.5 本章小结第29-30页
第三章 脉冲偏压对DLC薄膜结构及性能的影响第30-43页
    3.1 引言第30页
    3.2 薄膜的制备与表征第30-31页
        3.2.1 DLC薄膜制备第30-31页
        3.2.2 DLC薄膜的表征与测试第31页
    3.3 不同脉冲偏压制备薄膜的结构及性能分析第31-41页
        3.3.1 薄膜拉曼光谱分析第31-32页
        3.3.2 薄膜表面粗糙度及其断面成分结构分析第32-34页
        3.3.3 膜基结合力和硬度第34-36页
        3.3.4 脉冲偏压对薄膜摩擦磨损性能影响第36-38页
        3.3.5 载荷对薄膜的摩擦磨损性能影响第38-41页
    3.4 本章小结第41-43页
第四章 GO和OLC作为水基润滑添加剂的摩擦学性能研究第43-61页
    4.1 引言第43-44页
    4.2 实验部分第44-45页
        4.2.1 GO与OLC的制备第44页
        4.2.2 材料的表征第44-45页
        4.2.3 不锈钢基材的喷砂处理第45页
        4.2.4 摩擦磨损实验第45页
    4.3 实验结果与分析第45-60页
        4.3.1 GO与OLC的表征分析第45-48页
        4.3.2 不锈钢基材表面粗糙度、硬度与形貌分析第48-49页
        4.3.3 两种水基润滑剂的摩擦磨损行为第49-53页
        4.3.4 磨痕形貌分析及磨损机制第53-56页
        4.3.5 磨痕的Raman与XPS检测分析第56-60页
        4.3.6 两种润滑剂的润滑机理第60页
    4.4 本章小结第60-61页
第五章 DLC薄膜在含GO的水基润滑剂下的摩擦腐蚀性能研究第61-78页
    5.1 引言第61-62页
    5.2 实验部分第62-63页
        5.2.1 GO与DLC薄膜的制备第62页
        5.2.2 材料的表征第62页
        5.2.3 摩擦腐蚀实验第62-63页
    5.3 实验结果与分析第63-76页
        5.3.1 GO与DLC的形貌结构表征第63-64页
        5.3.2 DLC薄膜的FTIR与XPS分析第64-65页
        5.3.3 氯化钠溶液中的摩擦腐蚀实验第65-67页
        5.3.4 在含GO的水基润滑剂中的摩擦腐蚀实验第67-70页
        5.3.5 磨痕形貌及磨损机制分析第70-72页
        5.3.6 磨痕的拉曼检测分析第72-75页
        5.3.7 固-液协同润滑系统的耐磨耐腐机理第75-76页
    5.4 本章小结第76-78页
结论与展望第78-80页
参考文献第80-88页
攻读硕士学位期间取得的研究成果第88-89页
致谢第89-90页
附件第90页

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