| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 主要符号表 | 第23-25页 |
| 1 绪论 | 第25-43页 |
| 1.1 低温等离子体及集成电路工艺概述 | 第25-27页 |
| 1.2 低温等离子体源简介 | 第27-30页 |
| 1.3 甚高频容性耦合等离子体的研究进展 | 第30-40页 |
| 1.3.1 理论研究 | 第30-38页 |
| 1.3.2 实验研究 | 第38-40页 |
| 1.4 脉冲调制容性耦合等离子体的研究进展 | 第40-41页 |
| 1.5 本论文的研究内容及安排 | 第41-43页 |
| 2 双频容性耦合等离子体中高次谐波及驻波效应 | 第43-64页 |
| 2.1 引言 | 第43-44页 |
| 2.2 理论模型 | 第44-48页 |
| 2.3 非线性串联共振及表面波效应 | 第48-55页 |
| 2.4 串联共振激励的放电动力学研究 | 第55-62页 |
| 2.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 3 容性耦合等离子体的全电磁传输线模型 | 第64-84页 |
| 3.1 引言 | 第64页 |
| 3.2 模型介绍 | 第64-70页 |
| 3.3 极限情况下的传输线模型 | 第70-72页 |
| 3.4 数值结果 | 第72-83页 |
| 3.4.1 低频电源驱动放电 | 第73-78页 |
| 3.4.2 高频放电 | 第78-83页 |
| 3.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 4 甚高频容性耦合等离子体中密度回滞现象研究 | 第84-101页 |
| 4.1 引言 | 第84-85页 |
| 4.2 PIC/MCC模型介绍 | 第85-89页 |
| 4.2.1 非对称容性耦合等离子体中电磁波传播的色散关系 | 第85-88页 |
| 4.2.2 静电二维PIC/MCC模拟简介 | 第88-89页 |
| 4.3 二维静电PIC/MCC模拟结果 | 第89-94页 |
| 4.3.1 等离子体密度随驱动电压的回滞现象 | 第89-91页 |
| 4.3.2 对称和非对称模式的电磁波的传播 | 第91-94页 |
| 4.4 回滞现象的等效回路模型 | 第94-100页 |
| 4.4.1 几何非对称的等效回路模型 | 第94-97页 |
| 4.4.2 回滞现象的分析以及等效回路模型的结果 | 第97-100页 |
| 4.5 本章小结 | 第100-101页 |
| 5 脉冲调制双频容性耦合等离子体特性研究 | 第101-116页 |
| 5.1 引言 | 第101-102页 |
| 5.2 一维PIC/MCC模型 | 第102-105页 |
| 5.3 高频调制 | 第105-112页 |
| 5.3.1 等离子体密度和离子能量分布 | 第105-107页 |
| 5.3.2 等离子体参数随时间的演化 | 第107-112页 |
| 5.4 低频调制 | 第112-114页 |
| 5.5 本章小结 | 第114-116页 |
| 6 射频容性鞘层对感性耦合放电的影响 | 第116-145页 |
| 6.1 引言 | 第116-117页 |
| 6.2 双向耦合的混合模型 | 第117-130页 |
| 6.2.1 整体模型 | 第119-123页 |
| 6.2.2 鞘层模型 | 第123-125页 |
| 6.2.3 离子蒙塔卡洛碰撞模型 | 第125-126页 |
| 6.2.4 化学反应 | 第126-129页 |
| 6.2.5 混合模型求解流程 | 第129-130页 |
| 6.3 氩气放电的模拟结果及其实验验证 | 第130-139页 |
| 6.3.1 实验平台介绍 | 第130-131页 |
| 6.3.2 ICP功率的影响 | 第131-135页 |
| 6.3.3 射频偏压的影响 | 第135-139页 |
| 6.4 Ar/O_2混合气体放电 | 第139-144页 |
| 6.5 小结 | 第144-145页 |
| 7 结论与展望 | 第145-148页 |
| 7.1 主要结论 | 第145-147页 |
| 7.2 工作展望 | 第147页 |
| 7.3 创新点摘要 | 第147-148页 |
| 参考文献 | 第148-162页 |
| 附录A: 电压驱动的Child鞘层 | 第162-164页 |
| 附录B: 串联共振激励电流震荡的初始幅值 | 第164-167页 |
| 附录C: 电磁传输线模型中对称和非对称模式电压的推导 | 第167-169页 |
| 附录D: 等效电路模型中等效电容、电感和电阻的推导 | 第169-171页 |
| 附录E: 全空间电磁传输线模型的求解方法 | 第171-176页 |
| 攻读博士学位期间的科研成果及参加的科研项目 | 第176-179页 |
| 致谢 | 第179-181页 |
| 作者简介 | 第181页 |
