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强磁场对真空蒸发薄膜生长的影响研究

摘要第6-8页
ABSTRACT第8-10页
第一章 文献综述第13-45页
    1.1 薄膜气相沉积制备技术第13-18页
        1.1.1 化学气相沉积(CVD)第13-14页
        1.1.2 物理气相沉积技术(PVD)第14-17页
        1.1.3 气相沉积薄膜的形核与生长第17-18页
    1.2 强磁场在材料制备上的应用第18-36页
        1.2.1 材料电磁加工技术进展第18-21页
        1.2.2 磁场作用原理第21-22页
        1.2.3 磁力在材料制备中的应用第22-25页
        1.2.4 洛仑兹力和磁流体力学(MHD)在材料制备中应用第25-26页
        1.2.5 磁热力学作用在材料上应用第26-31页
        1.2.6 磁取向在材料制备中的应用第31-36页
    1.3 磁场在薄膜制备过程中的应用第36-42页
        1.3.1 磁场在磁控溅射制备薄膜上的应用第36-38页
        1.3.2 磁场在电化学沉积薄膜上的应用第38-39页
        1.3.3 磁场在其他气相沉积薄膜上的应用第39-41页
        1.3.4 磁场下热处理薄膜第41-42页
    1.4 思路的提出和研究内容第42-45页
        1.4.1 思路的提出第42-43页
        1.4.2 研究内容第43-45页
第二章 实验方案与研究方法第45-53页
    2.1 实验装置第45-46页
    2.2 磁场分布第46-48页
        2.2.1 磁场测量原理及装置第46-47页
        2.2.2 磁场分布第47-48页
    2.3 研究对象第48-49页
    2.4 实验方案与研究方法第49-53页
        2.4.1 基片的清洗第49页
        2.4.2 实验方案及步骤第49-50页
        2.4.3 研究方法第50-53页
第三章 强磁场下真空蒸发 Zn 薄膜研究第53-79页
    3.1 薄膜厚度对Zn 薄膜磁场下生长的影响第53-63页
        3.1.1 不同厚度薄膜的XRD 结果分析第53-59页
        3.1.2 薄膜厚度对Zn 薄膜表面形貌的影响第59-63页
    3.2 基片放置方式对Zn 薄膜磁场下沉积的影响第63-71页
        3.2.1 基片放置方式对Zn 薄膜XRD 结果的影响第63-65页
        3.2.2 基片放置方式对Zn 薄膜SEM 结果的影响第65-66页
        3.2.3 磁场对Zn 薄膜取向作用分析第66-71页
    3.3 氧化法制备ZnO 光电薄膜第71-76页
        3.3.1 XRD 结果分析第71-73页
        3.3.2 ZnO 薄膜的SEM 表面形貌结果第73-74页
        3.3.3 ZnO 薄膜的紫外分光光度计结果第74页
        3.3.4 ZnO 薄膜的光致发光(PL)结果第74-76页
    3.4 本章小结第76-79页
第四章 强磁场下Te 薄膜的取向生长和形核第79-93页
    4.1 Te 薄膜结构特征第79-80页
    4.2 磁场强度对Te 沉积的影响第80-84页
    4.3 温度对Te 沉积取向生长的影响第84-86页
    4.4 磁场对Te 薄膜形核机理研究第86-91页
    4.5 本章小结第91-93页
第五章 磁场下Bi 薄膜取向生长研究第93-101页
    5.1 Bi 的磁性特征第93-94页
    5.2 6T 以下磁场Bi 薄膜的XRD 结果第94-98页
    5.3 6T 以上磁场制备Bi 薄膜的XRD 结果第98-100页
    5.4 本章小结第100-101页
第六章 强磁场下Bi 薄膜表面粗糙度和动力学标度的AFM 研究第101-113页
    6.1 表面粗糙度及动力学标度第101-103页
    6.2 Bi 薄膜的表面粗糙度分析第103-108页
    6.3 Bi 薄膜的动力学标度分析第108-111页
    6.4 本章小结第111-113页
第七章 结论与展望第113-117页
    7.1 全文主要结论第113-114页
    7.2 论文主要创新点第114-115页
    7.3 工作展望第115-117页
参考文献第117-135页
附录一第135-141页
附录二第141-144页
作者在攻读博士学位期间公开发表的论文第144-145页
作者在攻读博士学位期间公开申请的专利第145-146页
作者在攻读博士学位期间所做的项目第146-147页
致谢第147页

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