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GaAs/A1GaAs材料V型腔可调谐激光器的设计制作及在生物检测上的应用

致谢第5-6页
摘要第6-8页
Abstract第8-9页
第一章 绪论第13-23页
    1.1 砷化镓材料可调谐激光器简介第13-14页
    1.2 砷化镓材料可调谐激光器在人体血液检测上的应用第14-16页
    1.3 砷化镓材料可调谐激光器的实现第16-20页
        1.3.1 外腔激光器第16-17页
        1.3.2 垂直腔面发射激光器第17-19页
        1.3.3 光栅结构激光器第19-20页
    1.4 V型耦合腔激光器第20-21页
    1.5 本论文研究要点和创新点第21-23页
        1.5.1 本论文的章节安排第21-22页
        1.5.2 本论文主要创新点第22-23页
第二章 砷化镓材料V型腔激光器的设计第23-41页
    2.1 V型腔激光器的结构第23-29页
        2.1.1 V型耦合腔第23-25页
        2.1.2 半波耦合器第25-29页
    2.2 V型腔激光器的阈值方程第29-30页
    2.3 V型腔激光器参数设计与优化第30-41页
        2.3.1 层状结构设计第30-32页
        2.3.2 波导设计第32页
        2.3.3 V型腔结构设计第32-35页
        2.3.4 半波耦合器结构设计第35-41页
第三章 砷化镓材料V型腔激光器的制作工艺第41-69页
    3.1 工艺流程总览第41-44页
    3.2 晶片表面预处理第44页
    3.3 光刻工艺第44-48页
        3.3.1 正胶光刻第45-47页
        3.3.2 负胶光刻第47-48页
    3.4 刻蚀工艺第48-63页
        3.4.1 掩模的选择第48-50页
        3.4.2 干湿法刻蚀比较第50-51页
        3.4.3 干法刻蚀介绍第51-52页
        3.4.4 干法刻蚀气体的选择第52-56页
        3.4.5 干法刻蚀配方的优化第56-60页
        3.4.6 湿法刻蚀辅助刻蚀波导第60-63页
    3.5 平坦化第63-64页
    3.6 正面电极与背面电极第64-67页
    3.7 晶片背面减薄与抛光第67-68页
    3.8 V型腔激光器成品第68-69页
第四章 砷化镓材料V型腔激光器性能测试第69-97页
    4.1 测试系统介绍第69-71页
    4.2 F-P激光器测试第71-76页
        4.2.1 激光器IV、IP性能测试第71-73页
        4.2.2 腔镜面损伤第73-76页
    4.3 V型腔激光器测试第76-97页
        4.3.1 V型腔激光器波长调谐机理第76-78页
        4.3.2 载流子注入效应测试第78-85页
        4.3.3 载流子注入寄生热效应测试第85-92页
        4.3.4 二维电流扫描结果第92-97页
第五章 反射式无创人体血液检测系统第97-123页
    5.1 血氧饱和度与脉搏检测第97-109页
        5.1.1 血氧饱和度检测原理第98-100页
        5.1.2 血氧饱和度检测系统第100-107页
        5.1.3 激光器在检测系统中的应用第107-109页
    5.2 血流速度检测第109-114页
        5.2.1 多普勒血流速度检测原理第109-110页
        5.2.2 血流速度检测实验第110-112页
        5.2.3 血流速度检测结果第112-113页
        5.2.4 双参数血液检测系统第113-114页
    5.3 血糖浓度检测第114-123页
        5.3.1 人体皮肤组织结构与光学特性第115-117页
        5.3.2 调频连续波在血糖检测中的应用第117-121页
        5.3.3 血糖浓度检测实验研究第121-123页
第六章 总结与展望第123-125页
    6.1 总结第123-124页
    6.2 进一步工作展望第124-125页
作者简介第125-126页
参考文献第126-136页

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