| 中文摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第13-33页 |
| 1.1 研究的背景和意义 | 第13-19页 |
| 1.1.1 NO_2的危害及其污染现状 | 第13-14页 |
| 1.1.2 国家环境空气质量标准对大气中NO_2浓度限值的规定 | 第14-15页 |
| 1.1.3 大气环境NO_2监测面临的新挑战及现有检测手段的不足 | 第15-19页 |
| 1.2 气体传感器 | 第19-30页 |
| 1.2.1 气体传感器的定义及其种类 | 第19-21页 |
| 1.2.2 金属氧化物半导体气体传感器机理及影响其传感特性的关键因素 | 第21-25页 |
| 1.2.3 气敏材料的选择 | 第25-26页 |
| 1.2.4 气敏材料维纳结构的设计 | 第26-29页 |
| 1.2.5 金属氧化物半导体气体传感器的器件结构 | 第29-30页 |
| 1.3 本论文工作 | 第30-31页 |
| 1.4 论文内容构成 | 第31-33页 |
| 第2章 纺锤形In_2O_3的制备及其气敏特性 | 第33-43页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 实验部分 | 第33-36页 |
| 2.2.1 材料制备 | 第33-34页 |
| 2.2.2 材料表征 | 第34页 |
| 2.2.3 旁热式气体传感器的制作及测试 | 第34-36页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第36-42页 |
| 2.3.1 结构和形貌特性 | 第36-37页 |
| 2.3.2 气体传感特性的测试与分析 | 第37-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 基于空心微球结构In_2O_3材料的NO_2气体传感器 | 第43-53页 |
| 3.1 引言 | 第43-44页 |
| 3.2 实验部分 | 第44-45页 |
| 3.2.1 材料制备 | 第44页 |
| 3.2.2 材料表征 | 第44-45页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第45-52页 |
| 3.3.1 结构和形貌特性 | 第45-48页 |
| 3.3.2 气体传感特性测试与分析 | 第48-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 基于铜掺杂花球状In_2O_3分等级结构材料的NO_2气体传感器 | 第53-82页 |
| 4.1 引言 | 第53-54页 |
| 4.2 实验部分 | 第54-55页 |
| 4.2.1 材料制备 | 第54页 |
| 4.2.2 材料表征 | 第54-55页 |
| 4.3 结果和讨论 | 第55-67页 |
| 4.3.1 结构和形貌特性 | 第55-59页 |
| 4.3.2 气体传感特性测试 | 第59-67页 |
| 4.4 旁热式金属氧化物半导体气体传感器老化台设计 | 第67-80页 |
| 4.4.1 气体传感器老化的必要性 | 第67-70页 |
| 4.4.2 软硬件设计 | 第70-79页 |
| 4.4.3 PCB版图设计 | 第79-80页 |
| 4.5 结论 | 第80-82页 |
| 第5章 总结和展望 | 第82-87页 |
| 5.1 总结 | 第82-85页 |
| 5.2 展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-101页 |
| 作者简介 | 第101-102页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第102-104页 |
| 致谢 | 第104页 |
