超光滑表面的积分散射测量仪器研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 超光滑表面检测的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 课题来源和研究内容 | 第13-15页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.3.2 论文主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 超光滑表面积分散射测量仪系统方案设计 | 第15-23页 |
| 2.1 积分散射测量原理 | 第15-17页 |
| 2.1.1 光在粗糙表面的散射现象 | 第15页 |
| 2.1.2 积分散射测量原理 | 第15-17页 |
| 2.2 被测元件特征分析 | 第17-19页 |
| 2.2.1 元件结构参数 | 第17-18页 |
| 2.2.2 元件表面缺陷及特征 | 第18-19页 |
| 2.3 积分散射测量仪整体设计方案 | 第19-22页 |
| 2.3.1 积分散射测量仪的关键问题 | 第19-20页 |
| 2.3.2 积分散射测量仪整体设计 | 第20-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 3 超光滑表面积分散射测量仪测试光路设计 | 第23-44页 |
| 3.1 导光光路设计 | 第23-28页 |
| 3.1.1 光源的功率稳定性 | 第23-24页 |
| 3.1.2 导光方式 | 第24-25页 |
| 3.1.3 斩波器设计 | 第25-27页 |
| 3.1.4 导光光路方案 | 第27-28页 |
| 3.2 光路杂散光分析 | 第28-37页 |
| 3.2.1 杂散光分析的理论基础 | 第28-29页 |
| 3.2.2 单透镜聚焦光路模型建立 | 第29-31页 |
| 3.2.3 光路杂散光表现分析 | 第31-35页 |
| 3.2.4 光路杂散光系数分析 | 第35-37页 |
| 3.3 共焦聚焦镜头设计 | 第37-40页 |
| 3.3.1 共焦镜头设计 | 第37-39页 |
| 3.3.2 共焦镜头光阑设计 | 第39-40页 |
| 3.4 共焦镜头杂散光屏蔽效果分析 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 扫描测试流程及数据处理设计 | 第44-62页 |
| 4.1 扫描测试模块设计 | 第44-49页 |
| 4.1.1 三维载物台参数 | 第44-45页 |
| 4.1.2 三维载物台组合方案 | 第45-47页 |
| 4.1.3 扫描运动轨迹设计 | 第47-49页 |
| 4.2 测试数据获取 | 第49-55页 |
| 4.2.1 光电倍增管及数据采集卡参数 | 第49-50页 |
| 4.2.2 数据采集流程 | 第50-52页 |
| 4.2.3 散射比数据计算方法 | 第52-55页 |
| 4.3 测试区域的坐标变换及位置对齐 | 第55-58页 |
| 4.3.1 测试位置的坐标变换 | 第55页 |
| 4.3.2 测试位置的对齐 | 第55-58页 |
| 4.4 积分散射测量仪软件设计 | 第58-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 5 实验结果分析 | 第62-70页 |
| 5.1 阈值标定及结果判断 | 第62-64页 |
| 5.1.1 阈值标定方案 | 第62-64页 |
| 5.1.2 测试结果判断 | 第64页 |
| 5.2 积分散射测量仪检测的可靠性 | 第64-65页 |
| 5.3 积分散射测量仪的数据重复性 | 第65-67页 |
| 5.4 仪器误差 | 第67-68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-70页 |
| 6 结论与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77页 |
