| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| 1.1 研究工作的背景 | 第10-11页 |
| 1.2 超分辨技术的简介 | 第11页 |
| 1.3 RCWA简介 | 第11-12页 |
| 1.4 本文的研究内容及意义 | 第12页 |
| 1.5 论文的结构安排 | 第12-14页 |
| 第二章 金属透镜的分析和仿真 | 第14-31页 |
| 2.1 概要 | 第14-15页 |
| 2.2 金属透镜理论分析 | 第15-22页 |
| 2.2.1 无限长的传导线：TEM布洛赫波的无色散传播模式 | 第15-17页 |
| 2.2.2 沿着线轴的有限长的传导线媒质：色散媒质 | 第17-19页 |
| 2.2.3 线媒质中的场分布 | 第19-20页 |
| 2.2.4 能量密度守恒 | 第20-21页 |
| 2.2.5 与等离子体相关联 | 第21-22页 |
| 2.2.6 渠化机制 | 第22页 |
| 2.3 横向有限尺寸的线媒质 | 第22-24页 |
| 2.4 珀赛尔效应 | 第24页 |
| 2.5 金属透镜的仿真 | 第24-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 光学双曲透镜 | 第31-41页 |
| 3.1 简介 | 第31-32页 |
| 3.2 用角动量作为传播模式 | 第32-34页 |
| 3.3 在强各向异性材料中角动量的状态 | 第34-36页 |
| 3.4 实现数字模拟仿真 | 第36-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 OCD系统简介 | 第41-59页 |
| 4.1 一维光栅中的严格耦合波分析 | 第41-49页 |
| 4.1.1 模型研究 | 第41-42页 |
| 4.1.2 TE偏振 | 第42-45页 |
| 4.1.3 TM偏振 | 第45-46页 |
| 4.1.4 任意偏振 | 第46-49页 |
| 4.2 二维光栅分析中的严格耦合波分析 | 第49-54页 |
| 4.2.1 模型研究 | 第49-50页 |
| 4.2.2 入射光波 | 第50-51页 |
| 4.2.3 耦合波方程 | 第51-54页 |
| 4.3 光谱椭偏仪系统的基本原理 | 第54-57页 |
| 4.4 金属透镜在一维光栅分析中的应用 | 第57-58页 |
| 4.4.1 光栅衍射的原因 | 第57-58页 |
| 4.4.2 OCD技术简述 | 第58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 金属共振透镜在光栅衍射分析中的应用研究 | 第59-67页 |
| 5.1 包含金属透镜的光谱椭偏仪对光栅CD的测量 | 第59-66页 |
| 5.2 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |