| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第7页 |
| 1.2 课题研究现状 | 第7-11页 |
| 1.3 本文研究工作 | 第11-13页 |
| 2 绝对检测技术的理论基础 | 第13-28页 |
| 2.1 常用的绝对检测法 | 第13-21页 |
| 2.1.1 传统三面互检法 | 第13-14页 |
| 2.1.2 Zernike多项式拟合法 | 第14-17页 |
| 2.1.3 奇偶函数法 | 第17-21页 |
| 2.2 基于N位旋转测量的绝对检测方法 | 第21-23页 |
| 2.3 仿真分析 | 第23-27页 |
| 2.3.1 基于N位旋转测量的绝对检测算法仿真 | 第23-24页 |
| 2.3.2 奇偶函数法原理仿真 | 第24-25页 |
| 2.3.3 误差分析 | 第25-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 元件中频误差的评价 | 第28-41页 |
| 3.1 PSD中频误差数据处理过程 | 第28-31页 |
| 3.2 空域处理方法 | 第31-37页 |
| 3.2.1 Quad-Flip技术 | 第32-34页 |
| 3.2.2 窗函数 | 第34-35页 |
| 3.2.3 窗函数补偿系数 | 第35-37页 |
| 3.3 误差函数滤波窗 | 第37-38页 |
| 3.4 系统误差影响仿真分析 | 第38-40页 |
| 3.4.1 系统误差对PSD1的影响仿真分析 | 第38-39页 |
| 3.4.2 系统误差对被测件塌陷曲线的影响仿真分析 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 4 实验验证与数据分析 | 第41-58页 |
| 4.1 FizCam-2000EP动态干涉仪 | 第42-47页 |
| 4.1.1 相移干涉技术 | 第43-44页 |
| 4.1.2 FizCam-2000EP动态干涉仪技术原理 | 第44-46页 |
| 4.1.3 相位掩膜板探测阵列原理 | 第46-47页 |
| 4.2 绝对检测实验 | 第47-53页 |
| 4.2.1 实验 | 第47-48页 |
| 4.2.2 实验结果 | 第48-49页 |
| 4.2.3 实验重复性分析 | 第49-51页 |
| 4.2.4 对比实验 | 第51-53页 |
| 4.3 系统误差对元件中频PSD1的影响研究 | 第53-56页 |
| 4.3.1 N位旋转测量法对中频信息的恢复能力仿真 | 第53-55页 |
| 4.3.2 系统误差对元件中频误差影响实验 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 5 全文总结及展望 | 第58-60页 |
| 5.1 主要研究成果 | 第58-59页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录 | 第64页 |
