| 论文创新点 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-34页 |
| 1.1 引言 | 第14-16页 |
| 1.2 氧化物半导体气敏元件 | 第16-24页 |
| 1.2.1 氧化物半导体气敏元件的发展历史 | 第16-17页 |
| 1.2.2 氧化物半导体气敏元件的结构与类型 | 第17-22页 |
| 1.2.4 氧化物半导体气敏元件的性能参数 | 第22-24页 |
| 1.3 氧化物半导体气敏元件的工作机理 | 第24-30页 |
| 1.3.1 耗尽层控制模型 | 第24-27页 |
| 1.3.2 催化剂的作用机理 | 第27-28页 |
| 1.3.4 氢气与一氧化碳的基本性质 | 第28-30页 |
| 1.4 本课题研究思路 | 第30-33页 |
| 1.4.1 氧化物半导体-催化金属复合纳米陶瓷 | 第30-32页 |
| 1.4.2 催化金属的复合方式与室温气敏 | 第32-33页 |
| 1.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第二章 实验方法 | 第34-44页 |
| 2.1 材料的制备工艺 | 第34-38页 |
| 2.1.1 制粉工艺 | 第34-36页 |
| 2.1.2 成形工艺 | 第36-37页 |
| 2.1.3 烧结工艺 | 第37页 |
| 2.1.4 电极工艺 | 第37-38页 |
| 2.2 材料的结构表征 | 第38-41页 |
| 2.2.1 X射线衍射(XRD)物相分析 | 第38页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)形貌分析 | 第38-39页 |
| 2.2.3 能谱(EDS)元素分析 | 第39页 |
| 2.2.4 等温吸附(BET)测试 | 第39-41页 |
| 2.2.5 其它 | 第41页 |
| 2.3 材料的气敏性能测试 | 第41-44页 |
| 2.3.1 气体变温响应实时测试系统 | 第41-43页 |
| 2.3.2 气敏测试模式 | 第43-44页 |
| 第三章 二氧化钛-催化金属复合纳米陶瓷的制备与气敏性能研究 | 第44-80页 |
| 3.1 引言 | 第44-45页 |
| 3.2 二氧化钛基复合纳米陶瓷的制备与结构分析 | 第45-54页 |
| 3.2.1 烧结温度的初步选择 | 第45-52页 |
| 3.2.2 二氧化钛-催化金属复合纳米陶瓷的制备与结构分析 | 第52-54页 |
| 3.3 二氧化钛-催化金属复合纳米陶瓷的氢气敏感性能研究 | 第54-60页 |
| 3.3.1 Pt/Pd/Au-TiO_2复合纳米陶瓷的的室温氢气敏感性 | 第54-56页 |
| 3.3.2 Pt-TiO_2复合纳米陶瓷的室温氢敏变浓度测试 | 第56-57页 |
| 3.3.3 Pt-TiO_2双面电极样品测试与氢分子的孔隙扩散 | 第57-60页 |
| 3.4 二氧化钛-催化金属复合纳米陶瓷的氢敏机理研究 | 第60-74页 |
| 3.4.1 Pt-TiO_2复合纳米陶瓷的室温有氧响应测试 | 第60-63页 |
| 3.4.2 Pt-TiO_2复合纳米陶瓷在无氧环境中的氢气响应恢复 | 第63-65页 |
| 3.4.3 TiO_2纳米陶瓷电解水实验 | 第65-67页 |
| 3.4.4 P t-TiO_2复合纳米陶瓷对氢气响应的氢原子吸附扩散机制 | 第67-68页 |
| 3.4.5 氢原子在TiO_2晶格中扩散的密度泛函理论计算 | 第68-71页 |
| 3.4.6 Pt-TiO_2复合纳米陶瓷氢气响应的三级扩散模型 | 第71-74页 |
| 3.5 二氧化钛-催化金属复合纳米陶瓷一氧化碳敏性能研究 | 第74-79页 |
| 3.5.1 Pt/Pd/Au-TiO_2复合纳米陶瓷的室温一氧化碳敏感性 | 第74-75页 |
| 3.5.2 Pt/Pd/Au-TiO_2复合纳米陶瓷的300℃一氧化碳敏感性 | 第75-76页 |
| 3.5.3 Au-TiO_2复合纳米复合陶瓷的变温一氧化碳敏感性 | 第76-78页 |
| 3.5.4 TiO_2基复合纳米陶瓷的CO敏感机理讨论 | 第78-79页 |
| 3.6 本章小结 | 第79-80页 |
| 第四章 二氧化锡-催化金属复合纳米陶瓷的制备与气敏性能研究 | 第80-103页 |
| 4.1 引言 | 第80-81页 |
| 4.2 二氧化锡基复合纳米陶瓷的制备与结构分析 | 第81-86页 |
| 4.2.1 烧结温度的初步选择 | 第81-85页 |
| 4.2.2 二氧化锡-催化金属复合纳米陶瓷的的制备与结构分析 | 第85-86页 |
| 4.3 二氧化锡-催化金属复合纳米陶瓷的氢气敏感性能研究 | 第86-89页 |
| 4.3.1 Pt/Pd/Au-SnO_2基复合纳米陶瓷的的室温氢气敏感性 | 第86-87页 |
| 4.3.2 Pt-SnO_2复合纳米陶瓷在空气中的室温氢敏性质 | 第87-89页 |
| 4.4 二氧化锡-催化金属复合纳米陶瓷的氢敏机理研究 | 第89-99页 |
| 4.4.1 Pt-SnO_2复合纳米陶瓷在不同氧浓度下的氢敏性能 | 第89-91页 |
| 4.4.2 Pt-SnO_2复合纳米在无氧环境中的氢气响应恢复 | 第91-92页 |
| 4.4.3 Pt-SnO_2纳米复合陶瓷在空气中的变温氢敏性质 | 第92-93页 |
| 4.4.4 SnO_2纳米陶瓷的电解水实验 | 第93-94页 |
| 4.4.5 TiO_2和SnO_2对氢的吸附作用对比分析 | 第94-97页 |
| 4.4.6 陶瓷形态的必要性 | 第97-99页 |
| 4.5 二氧化锡纳米陶瓷的一氧化碳敏感性能 | 第99-101页 |
| 4.5.1 SnO_2基纳米复合陶瓷的室温CO敏感性 | 第99-101页 |
| 4.5.2 Pd-SnO_2纳米复合陶瓷的CO选择性 | 第101页 |
| 4.6 本章小结 | 第101-103页 |
| 第五章 结论与展望 | 第103-106页 |
| 5.1 结论 | 第103-105页 |
| 5.2 展望 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-126页 |
| 研究成果与发表论文 | 第126-127页 |
| 致谢 | 第127页 |
