基于平面气浮导轨误差均化原理的轮廓仪研制
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 综述 | 第10-11页 |
| 1.2 研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 误差均化效应研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 二维X-Y运动平台结构研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第14-16页 |
| 1.4 本章小节 | 第16-18页 |
| 2 平面气浮导轨的气体润滑与数学模型建立 | 第18-27页 |
| 2.1 气浮轴承简介 | 第18-21页 |
| 2.1.1 气体轴承发展 | 第18-19页 |
| 2.1.2 气体轴承的润滑原理及气体轴承分类 | 第19-21页 |
| 2.2 气体润滑的基本假设 | 第21-22页 |
| 2.3 平面气浮导轨的气体润滑控制方程 | 第22-26页 |
| 2.3.1 平面气浮导轨物理模型的建立 | 第22页 |
| 2.3.2 平面气浮导轨气体润滑控制方程推导 | 第22-23页 |
| 2.3.3 边界条件 | 第23-24页 |
| 2.3.4 流量平衡 | 第24-25页 |
| 2.3.5 静特性求解 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 动平面气浮导轨力学-数学模型 | 第27-34页 |
| 3.1 轮廓数值建模 | 第27-29页 |
| 3.1.1 表面形貌概述 | 第27页 |
| 3.1.2 表面轮廓的数值模拟 | 第27-29页 |
| 3.2 动平面气浮导轨平衡模型 | 第29-32页 |
| 3.2.1 动气浮导轨平衡原理 | 第29页 |
| 3.2.2 动平面气浮导轨力学平衡条件 | 第29-30页 |
| 3.2.3 平衡状态求解 | 第30-32页 |
| 3.3 无气体润滑状态动导轨平衡数学模型 | 第32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-34页 |
| 4 气体静特性及气体误差均化效应特性分析 | 第34-51页 |
| 4.1 数值计算方法的选择 | 第34页 |
| 4.2 直线度误差评定概述 | 第34-36页 |
| 4.3 平面气浮导轨静特性运算及解析 | 第36-42页 |
| 4.3.1 平面气浮导轨气膜网格划分 | 第36页 |
| 4.3.2 控制方程的离散 | 第36-39页 |
| 4.3.3 边界条件设定 | 第39页 |
| 4.3.4 运算求解思路 | 第39-42页 |
| 4.4 计算实例1 | 第42-45页 |
| 4.4.1 参数设定 | 第42页 |
| 4.4.2 计算结果分析 | 第42-45页 |
| 4.5 误差均化效应运算及解析 | 第45-47页 |
| 4.6 计算实例2 | 第47-50页 |
| 4.6.1 误差均化效果计算 | 第47页 |
| 4.6.2 误差均化效果影响因素计算 | 第47-50页 |
| 4.7 结论 | 第50页 |
| 4.8 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 轮廓仪气浮平台结构设计 | 第51-62页 |
| 5.1 轮廓仪简介 | 第51页 |
| 5.2 气浮平台总体结构设计 | 第51-55页 |
| 5.2.1 设计方案的确定 | 第52-54页 |
| 5.2.2 设计参数的确定 | 第54-55页 |
| 5.3 主要零件设计及性能分析 | 第55-60页 |
| 5.3.1 气浮推动机构相关零部件设计 | 第55-58页 |
| 5.3.2 动平面气浮平台设计 | 第58-60页 |
| 5.4 相关组件的选型 | 第60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-62页 |
| 6 轮廓仪气浮平台运动误差的实验研究 | 第62-73页 |
| 6.1 气浮导轨的加工工艺技术方案 | 第62-63页 |
| 6.2 加工成品平面度检验 | 第63-64页 |
| 6.3 承载力实验研究 | 第64-66页 |
| 6.3.1 承载力实验装置设计及实验原理 | 第64-65页 |
| 6.3.2 实验方案 | 第65-66页 |
| 6.3.3 实验结果与分析 | 第66页 |
| 6.4 运动误差实验研究 | 第66-72页 |
| 6.4.1 运动误差实验装置设计及实验原理 | 第66-67页 |
| 6.4.2 实验方案 | 第67-68页 |
| 6.4.3 最小包容法思路解析 | 第68-69页 |
| 6.4.4 实验结果与分析 | 第69-72页 |
| 6.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 7 结论与展望 | 第73-75页 |
| 7.1 课题结论 | 第73页 |
| 7.2 课题不足与展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间发表的专利和论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79-82页 |
| 附录 气浮平台加工工艺卡 | 第82-83页 |
