| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 光刻机和双工件台方案的发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 迭代学习控制方法的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 同步控制策略的发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 双工件台系统介绍 | 第16-33页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 光刻机结构以及工件台介绍 | 第16-18页 |
| 2.3 双工件台的结构介绍 | 第18-22页 |
| 2.3.1 双工件台系统构成 | 第18-20页 |
| 2.3.2 换台系统结构分析 | 第20-22页 |
| 2.4 双工件台换台方案以及轨迹规划 | 第22-28页 |
| 2.4.1 换台过程具体步骤 | 第22-27页 |
| 2.4.2 换台系统的运动轨迹规划 | 第27-28页 |
| 2.5 双工件台换台相关问题分析 | 第28-31页 |
| 2.5.1 换台中的同步问题分析 | 第28-30页 |
| 2.5.2 换台中的定位问题分析 | 第30-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 双工件台旋转换台控制方法研究 | 第33-51页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 电机系统的干扰分析 | 第33-41页 |
| 3.2.1 自转电机速度耦合影响 | 第33-36页 |
| 3.2.2 公转电机的线缆干扰 | 第36-40页 |
| 3.2.3 电机系统模型 | 第40-41页 |
| 3.3 基于迭代学习的单电机控制方法研究 | 第41-45页 |
| 3.3.1 单电机系统迭代控制可行性 | 第41-42页 |
| 3.3.2 PI型迭代学习律 | 第42-43页 |
| 3.3.3 PI型迭代学习控制系统设计及仿真 | 第43-45页 |
| 3.4 高阶迭代学习控制 | 第45-49页 |
| 3.4.1 高阶迭代学习控制学习律 | 第45-46页 |
| 3.4.2 高阶迭代学习控制系统设计及仿真 | 第46-48页 |
| 3.4.3 高阶迭代学习对周期性扰动抑制能力的仿真分析 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 双电机同步控制策略研究 | 第51-66页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 同步控制策略的简介 | 第51-53页 |
| 4.2.1 并行方式同步结构 | 第51-52页 |
| 4.2.2 交叉耦合式同步结构 | 第52-53页 |
| 4.3 同步控制策略在换台系统中的应用 | 第53-61页 |
| 4.3.1 并行同步控制策略的结构和仿真 | 第53-55页 |
| 4.3.2 协同式同步控制的结构与仿真 | 第55-58页 |
| 4.3.3 主从式同步控制策略的结构和仿真 | 第58-61页 |
| 4.4 基于迭代学习控制的同步控制器设计与仿真 | 第61-65页 |
| 4.4.1 迭代学习同步控制器设计 | 第61-63页 |
| 4.4.2 基于迭代同步控制器的系统仿真 | 第63-65页 |
| 4.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 第5章 基于二阶迭代学习的主从同步控制系统的设计与实验 | 第66-79页 |
| 5.1 引言 | 第66页 |
| 5.2 二阶迭代同步控制系统的设计与仿真验证 | 第66-71页 |
| 5.2.1 基于二阶迭代同步控制系统设计 | 第66-67页 |
| 5.2.2 基于二阶迭代同步控制系统的仿真 | 第67-71页 |
| 5.3 换台实验系统搭建 | 第71-72页 |
| 5.4 迭代学习同步控制实验 | 第72-78页 |
| 5.4.1 主电机的跟踪定位实验 | 第72-75页 |
| 5.4.2 双电机的同步性实验 | 第75-78页 |
| 5.5 小结 | 第78-79页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第84-86页 |
| 致谢 | 第86页 |