| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 研究目的及意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本论文的主要研究工作 | 第13-14页 |
| 第二章 长脉冲激光作用单晶硅的温度场和应力场的理论研究 | 第14-23页 |
| 2.1 长脉冲激光作用单晶硅温度场的理论分析 | 第14-15页 |
| 2.2 长脉冲激光作用单晶硅应力场的理论分析 | 第15-22页 |
| 2.2.1 结合单晶硅各向异性的弹性力学理论 | 第16-18页 |
| 2.2.2 位移法求解有限元弹性力学问题的理论 | 第18-22页 |
| 2.3 本章小结 | 第22-23页 |
| 第三章 长脉冲激光作用单晶硅的仿真结果及分析 | 第23-33页 |
| 3.1 长脉冲激光作用单晶硅理论模型的建立 | 第23-25页 |
| 3.1.1 理论模型 | 第23-24页 |
| 3.1.2 网格剖分及参数设置 | 第24-25页 |
| 3.2 长脉冲激光作用单晶硅温度场的仿真结果与分析 | 第25-29页 |
| 3.3 长脉冲激光作用单晶硅应力场的仿真结果与分析 | 第29-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第四章 长脉冲激光作用单晶硅的实验结果及分析 | 第33-50页 |
| 4.1 长脉冲激光作用单晶硅温度损伤的实验研究 | 第33-36页 |
| 4.1.1 温度损伤的实验装置 | 第33页 |
| 4.1.2 长脉冲激光作用单晶硅的温度场的实验结果与分析 | 第33-36页 |
| 4.2 长脉冲激光作用单晶硅的在线应力损伤实验研究 | 第36-41页 |
| 4.2.1 在线应力损伤的实验装置 | 第36-37页 |
| 4.2.2 长脉冲激光作用单晶硅的应力损伤的实验结果与分析 | 第37-41页 |
| 4.3 长脉冲激光作用单晶硅损伤形貌的实验研究 | 第41-48页 |
| 4.3.1 损伤形貌的测量装置 | 第41-42页 |
| 4.3.2 长脉冲激光作用单晶硅损伤深度的实验结果与分析 | 第42-44页 |
| 4.3.3 长脉冲激光作用单晶硅的损伤面积的实验结果与分析 | 第44-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-52页 |
| 5.1 总结 | 第50-51页 |
| 5.2 展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 硕士期间学术成果情况 | 第56页 |
