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Ag-Ti合金电极与LSMO功能层对Metal/Pr0.7Ca0.3MnO3/Pt异质结电致电阻转变特性的影响

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
1 绪论第10-20页
   ·引言第10-11页
   ·非易失性存储器的种类与特点第11-12页
   ·电阻式随机存储器(RRAM)简介第12-14页
   ·RRAM 电阻转变机制研究进展第14-19页
     ·导电细丝路径的形成于断裂的机制第15-16页
     ·电荷注入引起金属—绝缘体转变的机制第16-17页
     ·电荷注入导致肖特基势垒改变机制第17-18页
     ·电子捕获诱发的电阻转变机制第18页
     ·场致氧离子电化学迁移机制第18-19页
   ·本文研究意义和内容第19-20页
2 薄膜样品制备方法与表征第20-26页
   ·脉冲激光沉积(PLD)技术的优点第20页
   ·PLD 制备Pr_(0.7)Ca_(0.3)Mn0_3(PCMO)薄膜第20-23页
     ·靶材的烧制第20-21页
     ·薄膜沉积第21-23页
   ·PCMO 薄膜相结构及电阻转变性能表征第23-26页
     ·相结构分析第23-24页
     ·PCMO 薄膜电阻转变性能表征第24-26页
3 不同方法制作Ag 顶电极的Ag/PCMO 异质结的阻变特性第26-33页
   ·Ag/PCMO/Pt 异质结I—V 特性曲线的比较与载流子输运机制第26-30页
   ·不同方法制作电极得到的 Ag/PCMO/Pt 异质结的阻态保持性以及疲劳性的比较第30-31页
   ·小结第31-33页
4 Ag-Ti 合金电极的M/PCMO/Pt 异质结阻变的研究第33-45页
   ·Ag-Ti(alloy)/PCMO/Pt 薄膜异质结的制备第34页
   ·Ag-Ti(alloy)/PCMO/Pt 异质结的I-V 特性以及阻变机制的研究第34-41页
     ·不同金属顶电极的I-V 特性曲线比较第34-36页
     ·Ag-Ti(alloy)/PCMO/Pt 异质结的阻变机理的研究第36-41页
   ·不同金属顶电极样品阻变的疲劳特性以及保持特性的分析第41-44页
     ·M/PCMO/Pt 异质结阻变的疲劳特性第41-43页
     ·M/PCMO/Pt 异质结阻变的保持特性第43-44页
   ·小结第44-45页
5 La_(0.67)Sr_(0.33)Mn0_3(LSMO)功能插层对阻变的影响第45-50页
   ·有无插层的样品I-V 特征曲线第45-47页
   ·Ti/PCMO/LSMO/Pt 与Ti/PCMO/Pt 异质结电致电阻疲劳特性的比较第47-49页
   ·小结第49-50页
6 结论与展望第50-52页
   ·论文总结第50页
   ·论文创新点第50-51页
   ·展望与进一步研究计划第51-52页
参考文献第52-58页
致谢第58-59页
攻读学位期间取得的科研成果清单第59页

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