| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-10页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第10-11页 |
| 1.4 本文实验研究的难点及拟解决方案 | 第11-16页 |
| 2 FIB溅射涂层对微纳米柱的影响 | 第16-30页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 实验方法及FIB进行TEM制样步骤 | 第16-19页 |
| 2.3 实验结果与讨论 | 第19-29页 |
| 2.4 结论 | 第29-30页 |
| 3 单晶铜微纳米柱的压曲破坏 | 第30-43页 |
| 3.1 引言 | 第30-31页 |
| 3.2 实验方法 | 第31-32页 |
| 3.3 实验结果 | 第32-38页 |
| 3.4 讨论与分析 | 第38-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 分子动力学模拟Cu纳米柱的压缩 | 第43-53页 |
| 4.1 引言 | 第43-45页 |
| 4.2 模拟方法 | 第45-46页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第46-52页 |
| 4.4 结论 | 第52-53页 |
| 5 总结与展望 | 第53-55页 |
| 5.1 本文主要结论 | 第53-54页 |
| 5.2 本文中的不足与研究展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-64页 |