飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10-14页 |
| 1.2 飞秒激光技术 | 第14-19页 |
| 1.2.1 飞秒激光的发展 | 第14-15页 |
| 1.2.2 飞秒激光的优势 | 第15-18页 |
| 1.2.3 飞秒激光的应用领域 | 第18页 |
| 1.2.4 飞秒激光制备金属微结构的国内外进展 | 第18-19页 |
| 1.3 本文的研究目的和研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 银纳米布线精度的研究 | 第20-33页 |
| 2.1 飞秒激光加工系统 | 第20-21页 |
| 2.2 飞秒激光诱导银布线的原理 | 第21-23页 |
| 2.2.1 配制银镀液 | 第21-22页 |
| 2.2.2 飞秒激光与银镀液的作用机制 | 第22-23页 |
| 2.3 布线精度对比实验 | 第23-33页 |
| 2.3.1 还原剂对比 | 第24-26页 |
| 2.3.2 还原剂的作用分析 | 第26-27页 |
| 2.3.3 曝光功率对比 | 第27-29页 |
| 2.3.4 溶液浓度对比 | 第29-31页 |
| 2.3.5 极限分辨率 | 第31-33页 |
| 第三章 银纳米线的性能测试及应用 | 第33-39页 |
| 3.1 电阻率测试 | 第33-34页 |
| 3.2 粘附性测试 | 第34-35页 |
| 3.3 制备银微纳结构 | 第35-36页 |
| 3.4 制备银的微纳动力泵 | 第36-39页 |
| 3.4.1 微流控芯片动力泵种类 | 第36-38页 |
| 3.4.2 银的微纳气体泵 | 第38-39页 |
| 第四章 总结及展望 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-45页 |
| 作者简介及攻读硕士期间研究成果 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46页 |
