白光垂直扫描干涉术快速扫描系统与方法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 精密无损检测技术 | 第10-11页 |
| 1.2 白光垂直扫描干涉术 | 第11-12页 |
| 1.3 白光垂直扫描干涉术的研究现状 | 第12-13页 |
| 1.4 本论文的研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 白光扫描干涉图像快速采集系统硬件设计 | 第15-36页 |
| 2.1 白光垂直扫描干涉仪的硬件构成 | 第15-23页 |
| 2.1.1 运动系统 | 第16-18页 |
| 2.1.2 光学显微干涉系统 | 第18-21页 |
| 2.1.3 图像采集系统 | 第21-22页 |
| 2.1.4 系统总体构成 | 第22-23页 |
| 2.2 图像采集系统设计 | 第23-28页 |
| 2.2.1 CMOS图像传感器模块 | 第24-26页 |
| 2.2.2 FPGA控制核心模块 | 第26-27页 |
| 2.2.3 USB数据传输模块 | 第27-28页 |
| 2.3 图像采集系统硬件电路设计 | 第28-33页 |
| 2.3.1 图像传感器外围电路设计 | 第28-29页 |
| 2.3.2 控制核心外围电路设计 | 第29-32页 |
| 2.3.3 图像数据传输外围电路设计 | 第32-33页 |
| 2.4 PCB设计规则 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 白光垂直扫描干涉仪软件设计 | 第36-55页 |
| 3.1 下位机软件设计 | 第36-46页 |
| 3.1.1 CMOS的SCCB总线接口设计 | 第36-39页 |
| 3.1.2 FPGA时序控制程序设计 | 第39-42页 |
| 3.1.3 USB固件程序设计 | 第42-45页 |
| 3.1.4 下位机整体工作流程 | 第45-46页 |
| 3.2 上位机软件设计 | 第46-54页 |
| 3.2.1 压电陶瓷移相器控制软件设计 | 第47页 |
| 3.2.2 步进电机运动平台控制软件设计 | 第47-49页 |
| 3.2.3 图像采集系统软件设计 | 第49-51页 |
| 3.2.4 白光干涉仪扫描控制软件设计 | 第51-54页 |
| 3.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 白光垂直扫描干涉仪快速扫描方法设计 | 第55-70页 |
| 4.1 对焦评价函数 | 第55-63页 |
| 4.1.1 对焦评价函数选择 | 第56-58页 |
| 4.1.2 评价函数曲线比较 | 第58-62页 |
| 4.1.3 评价函数速度比较 | 第62-63页 |
| 4.2 干涉条纹辨识策略 | 第63-65页 |
| 4.2.1 爬山搜索法 | 第63-65页 |
| 4.2.2 穷举搜索法 | 第65页 |
| 4.3 干涉条纹提取策略 | 第65-69页 |
| 4.3.1 背景模型的初始化过程 | 第66-67页 |
| 4.3.2 前景提取过程 | 第67-68页 |
| 4.3.3 背景模型的更新 | 第68-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 实验及分析 | 第70-79页 |
| 5.1 白光干涉条纹辨识过程 | 第70-76页 |
| 5.2 白光干涉条纹提取过程 | 第76-77页 |
| 5.3 本章小结 | 第77-79页 |
| 第六章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
