| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 引言 | 第9-18页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题研究目的和理论意义 | 第9-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.3.1 光探针法 | 第10-11页 |
| 1.3.2 干涉显微镜法 | 第11-16页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 四波长表面形貌干涉测量系统原理 | 第18-23页 |
| 2.1 移相干涉测量原理 | 第18-19页 |
| 2.2 多波长移相干涉测量原理 | 第19-21页 |
| 2.2.1 双波长移相干涉测量原理 | 第19-20页 |
| 2.2.2 多波长移相干涉测量原理 | 第20-21页 |
| 2.3 四波长表面形貌干涉测量系统原理 | 第21-22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 四波长表面形貌干涉测量系统光路及机械机构设计 | 第23-45页 |
| 3.1 测量系统结构框架 | 第23-24页 |
| 3.2 测量系统光路设计及理论分析 | 第24-33页 |
| 3.2.1 光路结构设计 | 第24-25页 |
| 3.2.2 照明光路设计及理论分析 | 第25-31页 |
| 3.2.3 Linnik干涉光路设计及理论分析 | 第31-33页 |
| 3.3 其他元器件的选择 | 第33-38页 |
| 3.3.1 图像传感器CCD的选择 | 第33-34页 |
| 3.3.2 压电陶瓷驱动器PZT的选择 | 第34-36页 |
| 3.3.3 数据采集卡的选择 | 第36页 |
| 3.3.4 二维工作台的选择 | 第36-37页 |
| 3.3.5 电机选择 | 第37-38页 |
| 3.4 测量系统机械结构设计 | 第38-43页 |
| 3.4.1 机械结构设计的原则 | 第38-39页 |
| 3.4.2 测量系统各组件的机械结构设计 | 第39-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-45页 |
| 第4章 测量系统数据处理及实验验证 | 第45-56页 |
| 4.1 四波长干涉图像数据处理原理 | 第45-49页 |
| 4.1.1 获取灰度均值序列 | 第45页 |
| 4.1.2 计算初相位 | 第45页 |
| 4.1.3 计算远近波长相位差 | 第45-46页 |
| 4.1.4 计算绝对高度 | 第46-48页 |
| 4.1.5 恢复表面形貌 | 第48-49页 |
| 4.2 实验验证与分析 | 第49-53页 |
| 4.2.1 实验验证 | 第49-51页 |
| 4.2.2 实验分析 | 第51-53页 |
| 4.3 误差分析 | 第53-55页 |
| 4.3.1 测量误差现象 | 第53-54页 |
| 4.3.2 测量误差分析 | 第54-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 全文总结 | 第56-57页 |
| 5.2 全文展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第63页 |