| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 前言 | 第10页 |
| 1.2 二氧化锡气敏传感器 | 第10-12页 |
| 1.2.1 二氧化锡基本特性 | 第10-11页 |
| 1.2.2 二氧化锡传感器性能指标 | 第11页 |
| 1.2.3 二氧化锡组成结构对气敏效应的影响 | 第11-12页 |
| 1.3 溶胶-凝胶法 | 第12-13页 |
| 1.4 主要研究方法 | 第13-15页 |
| 1.4.1 直流静态测试法 | 第13-14页 |
| 1.4.2 复阻抗分析法 | 第14-15页 |
| 1.5 选题思路和研究内容 | 第15-16页 |
| 第二章 微加热器稳定性研究 | 第16-22页 |
| 2.1 微加热器的制备 | 第16页 |
| 2.2 微加热器功率与温度对应关系的研究 | 第16-21页 |
| 2.2.1 微加热器功率与温度的关系 | 第16-18页 |
| 2.2.2 环境温度对SnO_2气敏元件的影响 | 第18-19页 |
| 2.2.3 微加热器的热分布图 | 第19-21页 |
| 2.3 小结 | 第21-22页 |
| 第三章 Sol-Gel法制备掺杂稀有金属的SnO_2厚膜元件及其气敏性能的研究 | 第22-31页 |
| 3.1 实验试剂与仪器 | 第22-23页 |
| 3.2 实验样品参数及制备 | 第23-25页 |
| 3.2.1 溶胶凝胶法制备掺锑纳米SnO_2粉体 | 第23页 |
| 3.2.2 掺锑粉体微观结构 | 第23-25页 |
| 3.3 元件性能的测量 | 第25-28页 |
| 3.3.1 掺锑纳米SnO_2气敏元件测量 | 第25-26页 |
| 3.3.2 掺杂稀有金属元件的制备 | 第26页 |
| 3.3.3 稀有金属对元件性能的影响 | 第26-28页 |
| 3.4 气敏性能研究 | 第28-30页 |
| 3.4.1 元件的复阻抗平面图 | 第28页 |
| 3.4.2 元件的气敏机制 | 第28-30页 |
| 3.5 小结 | 第30-31页 |
| 第四章 双层厚膜结构及其气敏性能的研究 | 第31-36页 |
| 4.1 双层厚膜元件的制备 | 第31-32页 |
| 4.1.1 纳米WO_3粉体的制备 | 第31-32页 |
| 4.1.2 制备双层厚膜元件 | 第32页 |
| 4.2 双层厚膜元件的测量 | 第32-35页 |
| 4.2.1 双层厚膜元件的性能的测量 | 第32-33页 |
| 4.2.2 测量结果分析 | 第33页 |
| 4.2.3 双层厚膜元件的导电机制 | 第33-35页 |
| 4.3 小结 | 第35-36页 |
| 第五章 SnO_2气敏传感器稳定性的研究 | 第36-41页 |
| 5.1 老化时间对SnO_2气敏电阻的影响 | 第36-37页 |
| 5.2 温度和湿度对SnO_2气敏元件的影响 | 第37-40页 |
| 5.3 小结 | 第40-41页 |
| 主要结论和后续工作的建议 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第46-47页 |
| 致谢 | 第47页 |