| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-27页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-25页 |
| 1.2.1 MEMS谐振器 | 第12-13页 |
| 1.2.2 谐振陀螺仪 | 第13-25页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第25-26页 |
| 1.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 2 基于硅的MEMS谐振器设计、加工和测试 | 第27-39页 |
| 2.1 代替晶振的32kHz谐振器 | 第27-29页 |
| 2.1.1 工作原理 | 第27-28页 |
| 2.1.2 ANSYS仿真 | 第28-29页 |
| 2.2 双端固定音叉(DETF)谐振器 | 第29-32页 |
| 2.2.1 工作原理 | 第29-30页 |
| 2.2.2 ANSYS仿真 | 第30-32页 |
| 2.3 器件加工 | 第32-34页 |
| 2.4 器件测试 | 第34-38页 |
| 2.4.1 32kHz谐振器的谐振频率测试 | 第34-36页 |
| 2.4.2 DETF谐振器的谐振频率测试 | 第36-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 3 基于金刚石的MEMS谐振器和陀螺仪的设计和仿真 | 第39-57页 |
| 3.1 MEMS半球谐振器 | 第39-45页 |
| 3.1.1 工作原理 | 第39-40页 |
| 3.1.2 有限元分析及ANSYS仿真 | 第40-45页 |
| 3.2 MEMS半环谐振器 | 第45-50页 |
| 3.2.1 工作原理 | 第45页 |
| 3.2.2 结构设计和ANSYS仿真 | 第45-50页 |
| 3.3 基于金刚石薄膜的32kHz谐振器 | 第50-51页 |
| 3.4 基于金刚石薄膜的双端固定音叉谐振器(DETF) | 第51-52页 |
| 3.5 基于金刚石薄膜的振动环式谐振陀螺仪 | 第52-56页 |
| 3.5.1 工作原理 | 第52-54页 |
| 3.5.2 布朗噪声分析和ANSYS仿真 | 第54-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-57页 |
| 4 基于金刚石的MEMS谐振器和陀螺仪的加工和测试 | 第57-81页 |
| 4.1 金刚石MEMS三维半球和半环谐振器加工 | 第57-67页 |
| 4.1.1 三维加工工艺 | 第57-59页 |
| 4.1.2 半球和半环凹模的加工 | 第59-64页 |
| 4.1.3 凹模圆度分析 | 第64-65页 |
| 4.1.4 金刚石沉积和金刚石材料分析 | 第65-67页 |
| 4.2 金刚石MEMS平面谐振器和陀螺仪加工 | 第67-76页 |
| 4.2.1 平面加工工艺 | 第67-69页 |
| 4.2.2 金刚石MEMS平面器件加工过程 | 第69-76页 |
| 4.3 金刚石MEMS谐振器测试 | 第76-80页 |
| 4.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 5 总结与展望 | 第81-83页 |
| 5.1 论文总结 | 第81-82页 |
| 5.2 工作展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
