高精度电容式数字化微机械加速度计系统的研究与设计
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| ·MEMS加速度计概述 | 第11-16页 |
| ·MEMS加速度计的分类 | 第11-13页 |
| ·MEMS加速度传感器基本工作原理 | 第13-16页 |
| ·电容检测式微机械加速度计 | 第16-19页 |
| ·变间距式电容微机械加速度传感器 | 第16-18页 |
| ·变面积式电容微机械加速度传感器 | 第18-19页 |
| ·微机械加速度计的研究现状 | 第19-23页 |
| ·本论文的主要内容和研究意义 | 第23-25页 |
| 第2章 高精度电容式微机械加速度计系统设计 | 第25-58页 |
| ·数字式电容检测加速度计系统原理与组成 | 第25-28页 |
| ·数字载波的产生 | 第28-33页 |
| ·数字载波属性的选择 | 第28-30页 |
| ·CORDIC算法的原理与结构 | 第30-33页 |
| ·数字载波的性能 | 第33页 |
| ·数模转换接口 | 第33-36页 |
| ·数模转换接口的结构 | 第33-34页 |
| ·数模转换接口的噪声性能分析 | 第34-36页 |
| ·前级滤波放大模块 | 第36-38页 |
| ·前级滤波放大模块的电路结构 | 第36-37页 |
| ·前级滤波放大模块的噪声性能 | 第37-38页 |
| ·电容式微机械加速度传感器 | 第38-41页 |
| ·加速度传感器结构 | 第38-40页 |
| ·加速度传感器的机械热噪声 | 第40-41页 |
| ·差分放大模块 | 第41-46页 |
| ·差分放大模块的电路结构 | 第41-44页 |
| ·差分放大模块的噪声性能分析 | 第44-46页 |
| ·模数转换接口 | 第46-50页 |
| ·模数转换电路的工作原理 | 第46-47页 |
| ·模数转换电路的模拟部分噪声分析 | 第47-48页 |
| ·模数转换的量化噪声分析 | 第48-49页 |
| ·过采样 | 第49-50页 |
| ·解调模块 | 第50-51页 |
| ·自动相位控制系统 | 第51-54页 |
| ·加速度计系统整体噪声特性分析 | 第54-55页 |
| ·加速度计系统量程分析 | 第55-58页 |
| 第3章 高精度微机械加速度计系统温度稳定性分析 | 第58-75页 |
| ·加速度计系统温度稳定性的分析 | 第58-61页 |
| ·改善加速度计系统温度稳定性的方法 | 第61-75页 |
| ·实时温度补偿 | 第61-64页 |
| ·高精度温度传感装置 | 第64-67页 |
| ·处理电路的温度补偿 | 第67-75页 |
| 第4章 高精度电容式微机械加速度计系统测试 | 第75-88页 |
| ·噪声性能测试 | 第75-82页 |
| ·稳定性测试 | 第82-83页 |
| ·温度特性测试 | 第83-88页 |
| ·温度补偿测试 | 第83-87页 |
| ·高精度温度控制下的加速度计系统测试 | 第87-88页 |
| 第5章 总结与展望 | 第88-91页 |
| 参考文献 | 第91-96页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
