基于印刷电子工艺的声表面波器件制备及性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·印刷电子技术概述 | 第11-15页 |
| ·印刷电子学 | 第11-12页 |
| ·印刷电子技术的应用热点 | 第12-13页 |
| ·印刷电子技术的国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·SAW技术概述 | 第15-17页 |
| ·SAW定义 | 第15页 |
| ·SAW器件的应用 | 第15-17页 |
| ·SAW器件的研究现状 | 第17页 |
| ·本论文的研究内容及创新点 | 第17-19页 |
| 第二章 印刷电子技术和SAW基本理论 | 第19-35页 |
| ·印刷电子技术基础 | 第19-25页 |
| ·印刷电子墨料 | 第19-21页 |
| ·喷墨打印用导电墨水 | 第19-20页 |
| ·丝网印刷用电子浆料 | 第20-21页 |
| ·印刷电子工艺及设备 | 第21-25页 |
| ·喷墨打印工艺及设备 | 第21-23页 |
| ·丝网印刷工艺及设备 | 第23-25页 |
| ·印前及印后处理工艺 | 第25页 |
| ·SAW基本理论 | 第25-34页 |
| ·压电效应及压电材料 | 第26-27页 |
| ·叉指换能器 | 第27-32页 |
| ·叉指换能器结构 | 第27-28页 |
| ·叉指换能器的基本特性 | 第28-29页 |
| ·叉指换能器模型分类 | 第29-32页 |
| ·SAW滤波器 | 第32-34页 |
| ·SAW带通滤波器 | 第33页 |
| ·SAW滤波器分类及工作原理 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 应用喷墨打印技术制备SAW滤波器 | 第35-43页 |
| ·SAW滤波器设计及仿真 | 第35-36页 |
| ·实验步骤及工艺参数 | 第36-38页 |
| ·SAW滤波器版图设计 | 第36-37页 |
| ·压电基片选择及预处理 | 第37页 |
| ·喷墨打印过程 | 第37页 |
| ·压电材料的评估 | 第37-38页 |
| ·器件性能测试及结果分析 | 第38-42页 |
| ·显微镜观测和电学性能测试 | 第38-39页 |
| ·台阶仪测试 | 第39-40页 |
| ·滤波器性能测试 | 第40-42页 |
| ·误差分析 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 应用丝网印刷技术制备SAW滤波器 | 第43-53页 |
| ·SAW滤波器设计及仿真 | 第43-45页 |
| ·实验步骤及工艺参数 | 第45-47页 |
| ·网版的制备 | 第45页 |
| ·印前工艺 | 第45-46页 |
| ·印制过程 | 第46页 |
| ·印后处理 | 第46-47页 |
| ·器件性能测试及结果分析 | 第47-52页 |
| ·显微镜观测和电学性能测试 | 第47-48页 |
| ·台阶仪测试 | 第48-50页 |
| ·网络分析仪测试 | 第50-52页 |
| ·误差分析 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 总结与展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-61页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
