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基于2D-PSD的长导轨直线度测量系统的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-12页
   ·概述第8-9页
   ·导轨直线度测量的国内外研究现状第9-11页
   ·选题的目的及意义第11页
   ·课题来源及研究的主要内容第11-12页
第二章 系统测量原理与数学建模第12-25页
   ·导轨运动副自由度的定义第12页
   ·系统测量原理概述第12-14页
     ·系统测量原理-方案一第12-13页
     ·系统测量原理-方案二第13-14页
   ·导轨空间偏角数学模型的建立第14-17页
   ·导轨二维直线度数学模型的建立第17-24页
     ·激光空间偏角校正的理论分析第17-20页
     ·激光空间偏角校正模型的建立第20-24页
   ·本章小结第24-25页
第三章 长导轨直线度检测系统的总体设计第25-36页
   ·系统总体方案设计第25页
   ·系统机械结构设计第25-26页
   ·光学系统设计第26-28页
     ·位置敏感器件的选择第26-27页
     ·激光器的选择第27-28页
   ·二维枕形PSD信号采集与处理电路设计第28-35页
     ·信号采集与处理方案设计第28-29页
     ·前置信号处理电路设计第29-35页
   ·本章小结第35-36页
第四章 PSD非线性校正及背景光消除技术的研究第36-48页
   ·PSD工作原理第36-39页
     ·一维PSD工作原理第36-37页
     ·二维PSD工作原理第37-39页
   ·二维PSD非线性校正第39-44页
   ·背景光互相关消除技术第44-47页
   ·本章小结第47-48页
第五章 数据处理系统设计第48-56页
   ·直线度评定方法第48-52页
   ·数据采集与处理第52-55页
     ·LabVIEW数据采集第52-54页
     ·MATLAB数据处理第54-55页
   ·本章小结第55-56页
第六章 系统实验与误差分析第56-63页
   ·原理性实验第56页
   ·实测实验第56-59页
   ·误差分析第59-62页
   ·本章小结第62-63页
结论第63-64页
致谢第64-65页
参考文献第65-67页
攻读硕士学位期间所发表的学术论文第67页

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