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二氧化钛基纳米管外延异质结的气敏传感与器件物理研究

摘要第1-4页
Abstract第4-9页
第1章 引言第9-11页
   ·研究背景与意义第9-10页
     ·研究背景第9页
     ·研究问题及其意义第9-10页
   ·研究目的第10-11页
第2章 文献综述第11-20页
   ·TiO_2纳米管的性质及研究现状第11-15页
     ·TiO_2纳米管的晶体结构第11页
     ·TiO_2纳米管的制备方法第11-13页
     ·TiO_2纳米管的形成机理第13-14页
     ·TiO_2纳米管的应用第14-15页
   ·气敏传感器研究现状第15-18页
     ·气敏传感器分类第15-16页
     ·半导体气敏传感机理第16-17页
     ·气敏传感器的发展趋势第17-18页
   ·电子鼻的概念及应用第18-20页
     ·电子鼻的概念第18页
     ·基于电子鼻概念的传感阵列第18-20页
第3章 实验方法及表征手段第20-25页
   ·实验内容及技术路线第20-21页
     ·实验研究内容第20页
     ·技术路线第20-21页
   ·实验仪器与试剂第21-22页
     ·实验仪器第21-22页
     ·实验试剂第22页
   ·实验流程第22-23页
     ·TiO_2纳米管阵列的制备第22-23页
     ·TiO_2纳米管阵列肖特基结的制备第23页
   ·实验表征手段第23-25页
     ·形貌表征第23-24页
     ·性能表征第24-25页
第4章 阳极氧化法制备 TiO_2纳米管阵列的阻抗分析第25-48页
   ·引言第25页
   ·实验过程第25-26页
   ·不同氧化温度制备纳米管阵列的阻抗分析第26-32页
     ·阳极氧化过程的电流变化第26-27页
     ·形貌表征第27-28页
     ·阻抗测试与分析第28-32页
   ·不同氧化时间制备纳米管阵列的阻抗分析第32-45页
     ·形貌表征第33-34页
     ·热处理前阻抗测试与分析第34-42页
     ·热处理后阻抗测试与分析第42-45页
   ·机理探讨第45-46页
   ·小结第46-48页
第5章 微乳电沉积制备 Pd 修饰 TiO_2纳米管阵列第48-52页
   ·引言第48页
   ·实验过程第48页
   ·结果与讨论第48-50页
     ·25℃ 条件下 Pd 微乳沉积的 SEM 显微形貌第48-49页
     ·60℃ 条件下 Pd 微乳沉积的 SEM 显微形貌第49-50页
   ·机理分析第50-51页
   ·小结第51-52页
第6章 Pd 修饰 TiO_2纳米管阵列点接触肖特基结的气敏研究第52-68页
   ·引言第52页
   ·实验过程第52-53页
   ·形貌表征第53-55页
   ·点接触传感器结构第55页
   ·点接触传感器的 H_2敏感性研究第55-64页
     ·H_2响应曲线第55-57页
     ·阻抗分析第57-61页
     ·I-V 特性测试与分析第61-63页
     ·氢气敏感性机理的初步探究第63-64页
   ·点接触传感器的 CO 敏感性研究第64-67页
     ·CO 响应曲线第65-66页
     ·I-V 曲线测试与分析第66-67页
   ·小结第67-68页
第7章 结论与后续工作建议第68-69页
   ·结论第68页
   ·后续工作建议第68-69页
参考文献第69-75页
致谢第75-76页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第76页

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