微/纳尺度接触力学行为有限元分析研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题研究背景 | 第8页 |
| ·课题研究的目的与意义 | 第8-14页 |
| ·微机电系统发展现状 | 第8-10页 |
| ·微机电系统存在的主要问题 | 第10-11页 |
| ·接触力学研究的发展 | 第11页 |
| ·有限元方法的发展和应用 | 第11-13页 |
| ·纳米压痕技术研究现状 | 第13-14页 |
| ·论文主要内容 | 第14-15页 |
| ·课题研究的技术路线和创新点 | 第15-18页 |
| 第二章 接触力学理论和有限元接触理论 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·接触力学理论 | 第18-21页 |
| ·赫兹接触理论 | 第18-20页 |
| ·JKR接触模型 | 第20页 |
| ·DMT接触模型 | 第20页 |
| ·Tabor数 | 第20-21页 |
| ·有限元接触理论 | 第21-23页 |
| ·直接迭代法 | 第21页 |
| ·数学规划法 | 第21-22页 |
| ·接触约束算法 | 第22-23页 |
| ·接触理论模型 | 第23-26页 |
| ·理论分析模型 | 第23-24页 |
| ·弹性变形阶段 | 第24-25页 |
| ·弹塑性变形阶段 | 第25-26页 |
| ·小结 | 第26-28页 |
| 第三章 单晶硅球面-平面微接触分析 | 第28-36页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·有限元模型建立 | 第28-29页 |
| ·法向接触分析 | 第29-33页 |
| ·有限元分析结果 | 第29-31页 |
| ·实验方案 | 第31页 |
| ·实验对比分析 | 第31-33页 |
| ·小结 | 第33-36页 |
| 第四章 单晶硅不同形状法向接触分析 | 第36-48页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·接触理论分析 | 第36-38页 |
| ·平头形状模型接触理论 | 第36-37页 |
| ·三棱锥形状模型接触理论 | 第37页 |
| ·圆锥形状模型接触理论模型 | 第37-38页 |
| ·微观接触变形区域分析 | 第38页 |
| ·三种接触形式法向有限元分析 | 第38-44页 |
| ·平头形状模型有限元接触分析 | 第39-40页 |
| ·三棱锥形状模型有限元接触分析 | 第40-42页 |
| ·圆锥形状模型有限元接触分析 | 第42-43页 |
| ·三种接触形式有限元分析对比 | 第43-44页 |
| ·试验验证对比分析 | 第44-46页 |
| ·小结 | 第46-48页 |
| 第五章 单晶硅不同形状切向接触滑动分析 | 第48-54页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·三种接触形式切向滑动有限元分析 | 第48-51页 |
| ·平头形状模型有限元接触分析 | 第48-49页 |
| ·三棱锥形状模型有限元接触分析 | 第49-50页 |
| ·圆锥形状有限元接触分析 | 第50页 |
| ·三种接触形式有限元分析对比 | 第50-51页 |
| ·试验验证对比分析 | 第51-52页 |
| ·小结 | 第52-54页 |
| 第六章 两种不同材料微接触对比分析 | 第54-70页 |
| ·引言 | 第54页 |
| ·有限元接触模型 | 第54页 |
| ·法向接触分析 | 第54-67页 |
| ·单晶硅法向有限元接触分析 | 第55-61页 |
| ·单晶铝法向有限元接触分析 | 第61-65页 |
| ·有限元法向接触分析对比 | 第65页 |
| ·实验验证 | 第65-67页 |
| ·小结 | 第67-70页 |
| 第七章 微齿轮接触力学行为有限元分析 | 第70-76页 |
| ·前言 | 第70页 |
| ·齿面基本方程 | 第70-71页 |
| ·渐开线曲线方程 | 第70-71页 |
| ·齿根过渡曲线 | 第71页 |
| ·参数化几何建模 | 第71-72页 |
| ·有限元分析模型 | 第72页 |
| ·微齿对动态接触分析 | 第72-74页 |
| ·小结 | 第74-76页 |
| 第八章 全文总结及工作展望 | 第76-80页 |
| ·全文工作总结 | 第76-77页 |
| ·后续工作研究建议与展望 | 第77-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 附录A：实验装置附图 | 第88-90页 |
| 附录B：本人在攻读硕士学位期间的科研情况 | 第90页 |
