掺镁铌酸锂脊形光波导设计及制备工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·周期极化铌酸锂晶体 | 第10-11页 |
| ·铌酸锂光波导制备工艺研究概况 | 第11-20页 |
| ·铌酸锂光波导在全光信号处理上的应用 | 第20-21页 |
| ·研究意义及本论文工作 | 第21-24页 |
| 2 周期极化铌酸锂光波导结构设计理论基础 | 第24-33页 |
| ·非线性周期极化铌酸锂波导设计理论 | 第24-28页 |
| ·铌酸锂波导折射率与模式偏振态的关系 | 第28-29页 |
| ·掺镁铌酸锂晶体抗光折变性能 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 脊形波导结构设计方法理论基础 | 第33-42页 |
| ·单模截止条件 | 第33-34页 |
| ·有限差分法计算波导本征模式 | 第34-39页 |
| ·有限差分光束传播法分析波导传输模式 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 掺镁铌酸锂脊形光波导结构设计 | 第42-65页 |
| ·直接键合脊形光波导结构设计 | 第42-49页 |
| ·黏胶键合脊形光波导结构设计 | 第49-58页 |
| ·退火质子交换脊形光波导结构设计 | 第58-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 5 直接键合掺镁铌酸锂脊形波导制备工艺 | 第65-97页 |
| ·工艺流程 | 第65页 |
| ·直接键合工艺研究 | 第65-78页 |
| ·黏胶键合工艺研究 | 第78-82页 |
| ·研磨抛光技术 | 第82-88页 |
| ·干法刻蚀脊形结构工艺研究 | 第88-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 6 退火质子交换掺镁铌酸锂脊形波导工艺研究 | 第97-104页 |
| ·工艺流程 | 第97页 |
| ·掺镁铌酸锂晶体的周期性畴反转 | 第97-99页 |
| ·周期极化掺镁铌酸锂晶体的退火质子交换工艺 | 第99-100页 |
| ·金刚石划片机精密切割脊形结构工艺研究 | 第100-103页 |
| ·本章小结 | 第103-104页 |
| 7 波导性能测试 | 第104-116页 |
| ·波导传输损耗性能测试 | 第104-106页 |
| ·波导耦合封装实验 | 第106页 |
| ·波导性能测试分析 | 第106-115页 |
| ·本章小结 | 第115-116页 |
| 8 总结与展望 | 第116-119页 |
| 致谢 | 第119-121页 |
| 参考文献 | 第121-133页 |
| 附录 1 攻读博士学位期间发表论文目录 | 第133-134页 |
| 附录 2 攻读博士学位期间申请专利目录 | 第134页 |
