| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 选题背景 | 第8-18页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·葡萄糖生物传感器的研究与发展 | 第8-13页 |
| ·基于 C-MEMS 的葡萄糖生物传感器的研究与进展 | 第13-14页 |
| ·纳米材料及其应用于葡萄糖生物传感器的研究与进展 | 第14-16页 |
| ·论文主要内容 | 第16-18页 |
| 2 C-MEMS/NEMS 集成结构的研究开发 | 第18-42页 |
| ·C-MEMS 结构的制备工艺 | 第18-21页 |
| ·C-MEMS/CNTs 集成结构的制备与表征 | 第21-27页 |
| ·C-MEMS/SiO2集成结构的制备与表征 | 第27-35页 |
| ·C-MEMS/SiOxNy 集成结构的制备与表征 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 3 基于 C-MEMS/NEMS 的葡萄糖浓度检测器件的研究 | 第42-57页 |
| ·葡萄糖氧化酶在电极表面的固化工艺 | 第42-47页 |
| ·C-MEMS-PPy/GOD 电极对葡萄糖溶液的电流响应 | 第47-49页 |
| ·C-MEMS/SWNTs-PPy/GOD 电极对葡萄糖溶液的电流响应 | 第49-52页 |
| ·C-MEMS/SiO2-PPy/GOD 电极对葡萄糖溶液的电流响应 | 第52-53页 |
| ·不同电极性能比较 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 4 结论与展望 | 第57-58页 |
| ·本文结论 | 第57页 |
| ·工作展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 附录 攻读硕士期间发表的论文 | 第65-66页 |
