| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·薄膜材料概述 | 第9页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第9-10页 |
| ·磁控溅射镀膜法 | 第10-11页 |
| ·磁控溅射镀膜原理 | 第10-11页 |
| ·涂层与基体间的结合力 | 第11-15页 |
| ·影响界面结合力的因素 | 第11页 |
| ·常用评价涂层与基体间界面结合力的方法 | 第11-15页 |
| ·拉伸法 | 第12页 |
| ·划痕法 | 第12-14页 |
| ·压痕法 | 第14-15页 |
| ·铁电多层膜综述 | 第15页 |
| ·论文思路 | 第15-16页 |
| 第2章 基体硬度对薄膜与基体间结合力的影响 | 第16-25页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·实验部分 | 第16-19页 |
| ·试验流程设计 | 第16页 |
| ·主要试验设备 | 第16-17页 |
| ·基体制备 | 第17-18页 |
| ·试验材料 | 第17-18页 |
| ·镀膜前的准备 | 第18页 |
| ·磁控溅射镀膜过程 | 第18-19页 |
| ·镀膜试验参数设定 | 第19页 |
| ·结果与讨论 | 第19-23页 |
| ·光学显微镜法分析临界压力 | 第19-21页 |
| ·声发射法分析临界压力 | 第21-23页 |
| ·结论 | 第23-25页 |
| 第3章 铁电多层膜的组装与性能 | 第25-55页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·实验部分 | 第25-29页 |
| ·实验原料及实验仪器 | 第25-26页 |
| ·表征方法 | 第26页 |
| ·X 射线衍射(XRD)分析 | 第26页 |
| ·场发射扫描电镜(SEM)分析 | 第26页 |
| ·紫外-可见吸收光谱(UV-VIS)分析 | 第26页 |
| ·实验步骤 | 第26-29页 |
| ·镀膜过程 | 第26-28页 |
| ·单一靶材 PTO 的溅射实验 | 第28页 |
| ·单一靶材 PZO 的溅射实验 | 第28页 |
| ·PZO 与 PTO 的复合溅射实验 | 第28-29页 |
| ·结果与讨论 | 第29-54页 |
| ·PTO 的厚度分析 | 第29-34页 |
| ·溅射时间的影响 | 第29-33页 |
| ·溅射功率的影响 | 第33-34页 |
| ·PZO 的 UV-VIS分析 | 第34-37页 |
| ·溅射时间的影响 | 第34-36页 |
| ·溅射功率的影响 | 第36-37页 |
| ·PZO/PTO 超晶格铁电薄膜材料的厚度分析 | 第37-43页 |
| ·100W 溅射超晶格铁电复合材料 | 第37-39页 |
| ·150W 溅射超晶格铁电复合材料 | 第39-41页 |
| ·200W 溅射超晶格铁电复合材料 | 第41-43页 |
| ·PZO/PTO 超晶格铁电薄膜材料结构分析 | 第43-50页 |
| ·溅射时间对 PTO 结构的影响 | 第43页 |
| ·热处理对 PTO 结构的影响 | 第43-44页 |
| ·溅射功率对 PTO 结构的影响 | 第44-45页 |
| ·时间、热处理、溅射功率对 PZO 结构的影响 | 第45-47页 |
| ·叠加次序对 PZO/PTO 超晶格铁电材料结构的影响 | 第47页 |
| ·溅射功率对 PZO/PTO 超晶格铁电材料结构的影响 | 第47-50页 |
| ·PZO/PTO 超晶格铁电薄膜材料形貌与元素组成 | 第50-54页 |
| ·SEM 表面形貌分析 | 第50-52页 |
| ·EDS 元素分析 | 第52-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 第4章 磁控溅射法制备 AlN 薄膜及结构性能表征 | 第55-63页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·实验部分 | 第55-57页 |
| ·实验设备 | 第55页 |
| ·基体准备 | 第55-57页 |
| ·镀膜工艺流程 | 第57页 |
| ·AlN 薄膜制备 | 第57页 |
| ·实验结果和分析 | 第57-62页 |
| ·AlN 薄膜的导热性能 | 第57-59页 |
| ·石英玻璃测试 | 第57-58页 |
| ·导电玻璃测试 | 第58-59页 |
| ·AlN 薄膜的光学性能 | 第59-60页 |
| ·AlN 薄膜的成分及结构分析 | 第60-62页 |
| ·成分分析 | 第60-62页 |
| ·结构分析 | 第62页 |
| ·结论 | 第62-63页 |
| 第5章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 攻读学位期间所开展的科研项目和发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
