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光刻机精密水温控制系统的监控子系统研究

摘要第1-5页
Abstract第5-11页
第一章 绪论第11-19页
   ·课题的来源及意义第11-12页
   ·监控技术的基本概念第12-13页
   ·监控技术和监控系统的产生发展第13-15页
     ·国外发展概况第13-14页
     ·国内发展概况第14页
     ·发展方向第14-15页
   ·监控子系统的设计思想第15-19页
     ·监控系统需求第15-16页
     ·设计原则第16-18页
     ·开发步骤第18-19页
第二章 温控系统平台和采样控制第19-25页
   ·温控系统平台第19-22页
     ·温控系统的主要功能第19页
     ·温控系统的结构第19-20页
     ·温控系统的工作过程第20-22页
     ·主要技术指标第22页
   ·数据采集和控制元件第22-24页
     ·温度采集传感器选型第22-23页
     ·数据采集分配表第23-24页
     ·监控执行元件第24页
   ·本章小结第24-25页
第三章 监控子系统的下位机软件设计第25-38页
   ·FX3UC系列可编程控制器及其通讯模块第25-28页
     ·可编程控制器简介第25页
     ·通讯扩展模块 FX2N-232IF第25-26页
     ·通讯缓冲存储器 BFM’s第26-28页
   ·温控仪通讯协议第28-31页
     ·通讯概述第28页
     ·通讯协议第28-31页
       ·通讯口的技术数据第29页
       ·通讯前准备:温控调节器参数的设置第29页
       ·通讯命令帧格式第29-31页
   ·可编程控制器软元件分配设计第31-32页
     ·直接监控量第31页
     ·错误日志和弹出窗口第31-32页
   ·可编程控制器与温控仪的通讯设计第32-36页
     ·通讯程序总体设计思路第32-34页
     ·实际程序与调试第34-36页
   ·通讯实测和可靠性第36-38页
     ·可编程控制器和温控仪的连接第36页
     ·输入抗干扰第36-37页
     ·输入输出间的抗干扰第37页
     ·软件防跑飞第37-38页
第四章 监控子系统的本地监控软件设计第38-56页
   ·上位机系统概述第38-39页
     ·上位机系统一般概念第38页
     ·上位机设计目标第38-39页
   ·本地监控的软硬件介绍第39-40页
     ·人机界面 HMI 简介第39页
     ·人机界面 HMI 编程软件 Easy Builder 8000 简介第39-40页
   ·本地监控的系统设计第40-53页
     ·可视化设计第40-48页
     ·变量及通讯数据库的建立第48-53页
       ·温度趋势图第48-49页
       ·报警故障事件第49-50页
       ·语言显示切换第50页
       ·错误日志第50-52页
       ·其它资料传输方式第52-53页
   ·本地监控的通讯连接和监控功能实现第53-56页
     ·硬件连接第53页
     ·软件握手第53-54页
     ·通讯实测第54-56页
第五章 监控子系统的远程监控软件设计第56-67页
   ·远程监控的意义第56页
   ·远程监控涉及的技术手段第56-60页
     ·串口通信控件介绍第56-58页
     ·双缓冲绘图技术和 Bitblt 函数介绍第58页
     ·可重用软件组件 ActiveX,OLE,OCX第58-59页
     ·涉及的部分 VB 函数第59-60页
   ·远程监控软件设计第60-65页
     ·全局变量定义第60页
     ·全系统初始化第60页
     ·串口事件的建立第60-61页
     ·通讯模式的切换第61页
     ·测量温度值 PV 的读取第61-62页
     ·目标温度值 SV 的设定第62-63页
     ·温度曲线的动态显示和数据文件读写第63-64页
     ·测试区第64页
     ·状态指示区、PID 参数设置、状态号设定区第64-65页
   ·远程监控的硬件连接方法和实测第65-67页
     ·硬件连接第65-66页
     ·远程监控软件实际运行情况第66-67页
第六章 总结与展望第67-69页
   ·论文主要工作第67-68页
   ·未来工作展望第68-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-73页
攻硕期间取得的研究成果第73-74页

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